... trường chế tạo màng mỏng ZnO/Si và ZnO/Ti/Si 2.6.Kết quả và thảo luận 2.6.1 .Chế tạo màng ZnO trên đế thủy tinh 2.6.2 .Chế tạo màng ZnO trên đế Si (111) và (100) 2.6.3 .Chế tạo màng ZnO trên ... gồm cách xử lí theo vị trí, xử lí run-to-run, xử lý nhiệt, và xử lý nhiệt môi trường xung quanh. Với vị trí, biến đổi lớn nhất tăng thêm bốn bậc về độ lớn và ba lần về độ lớn xảy ra trên dự ... bằng cách quan sát những điểm biến đổi trên mẫu được nung trong môi trường tương tự. Để tạo điều kiện cho việc nghiên cứu sự thay đổi điện trở với xử lý nhiệt, bảng 4-5 đưa ra giá trị của sự...