... dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công nghiệp, kỹ thuật, y tế, quân sự, Trong những năm gần đây, với sự hỗ trợ đắc lực của công ... tơng tự nh trong các cảm biến áp suất [1,2]. Tuỳ theo yêu cầu về phạm vi đo lực hay đo khối lợng, bề dày màng và kích thớc cạnh màng đợc lựa chọn một cách thích hợp khác nhau. Trong khảo sát ... loại áp điện trở là các áp điện trở kiểu cầu điện trở Wheastone nh trong hình 1b và áp điện trở kiểu điện trở 4 điện cực nh trong hình 1c. a) b) c) Hình 1. Sơ đồ cảm...