... sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học, công nghệ vi cơ đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ... năng đặc biệt của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công nghiệp, kỹ thuật, y tế, quân sự, ... điều kiện công nghệ hiện có ở các phòng thí nghiệm ITIMS, loại cảm biến vi cơ kiểu áp trở đo lực và đo khối lợng đã đợc thiết kế và chế tạo thành công. Trong công nghệ này, chúng tôi chỉ sử dụng...