... Al2O3 16 2. CHƯƠNG 2: CÁC PHƯƠNG PHÁP TẠO MÀNG MỎNG 21 2.1. Phương pháp ngưng tụ từ dung dịch 21 2.2. Phương pháp phún xạ magnetron 22 2.3. Phương pháp điện hóa 25 2.4. Một số tính chất ... cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ 129680, 746 ứng với đỉnh tham khảo 683, 744 là của pha γ và các đỉnh 484, 845 ứng với đỉnh tham khảo 491, 847.9 ... nhiều và khả năng chịu nhiệt, bền hóa kém hơn, vì vậy, cần thực hiện chuyển pha. Thông thường, phương pháp 16được sử dụng là ủ nhiệt trong môi trường không khí. Các pha trong quá trình chuyển...