... tốc chất lưu chảy qua công tơ lưu lượng hàm vận tốc Đo độ giảm áp qua tiết diện thu hẹp dòng chảy, lưu lượng hàm phụ thuộc độ giảm áp Đếm trực tiếp thể tích chất lưu chảy qua công tơ khoảng thời ... dòng ; 2)tuabin 3)bộ truyền động ;4)bộ đếm tốc độ Nguyên lý làm việc: Tốc độ công tơ: k-hệ số tryền động n-tốc độ công tơ w-tốc độ chất lưu Cảm biến đo vận tốc chất lưu • Lưu lượng chất lưu: ... dựa vào nguyên lí cảm ứng điện từ.Khi tuabin quay tác dụng luồng chất lỏng, tạo từ trường cảm ứng đồng hồ Từ trường tạo thành tín hiệu điện áp nhỏ (cỡ 10-20mV) Bộ chuyển đổi điện tạo tín hiệu...
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... định theo công thức sau: = ( ) pR 16 Yh (8.16) - 134 - Màng uốn nếp có đặc tính phi tuyến nhỏ màng phẳng nên sử dụng với độ võng lớn màng phẳng Độ võng tâm màng uốn nếp xác định theo công thức:...
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... định theo công thức sau: = ( ) pR 16 Yh (8.16) - 134 - Màng uốn nếp có đặc tính phi tuyến nhỏ màng phẳng nên sử dụng với độ võng lớn màng phẳng Độ võng tâm màng uốn nếp xác định theo công thức:...
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... định theo công thức sau: = ( ) pR 16 Yh (8.16) - 134 - Màng uốn nếp có đặc tính phi tuyến nhỏ màng phẳng nên sử dụng với độ võng lớn màng phẳng Độ võng tâm màng uốn nếp xác định theo công thức:...
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... định theo công thức sau: = ( ) pR 16 Yh (8.16) - 134 - Màng uốn nếp có đặc tính phi tuyến nhỏ màng phẳng nên sử dụng với độ võng lớn màng phẳng Độ võng tâm màng uốn nếp xác định theo công thức:...
... 1.1 Nguyên lý đo vận tốc Vai trò đo vận tốc quay: • Trong công nghiệp, phần lớn trường hợp đo vận tốc đo tốc độ quay máy • Trong trường hợp chuyển động thẳng, việc đo vận tốc dài thường chuyển ... điện từ Cảm biến gồm có hai phần: phần cảm (nguồn từ thông) phần ứng (phần có từ thông qua) Khi có chuyển động tương đối phần cảm phần ứng → từ thông (Φ) qua phần ứng biến thiên → phần ứng xuất ... trung bình tương đối cao (f~10kHz) (vật có khối lượng nhỏ) → CB gia tốc áp trở áp điện • Gia tốc va đập, gia tốc tốc có dạng xung → CB gia tốc có dải thông rộng hai phía f thấp cao 2.1 Nguyên lý...
... 1.1 Nguyên lý đo vận tốc Vai trò đo vận tốc quay: v Trong công nghiệp, phần lớn trường hợp đo vận tốc đo tốc độ quay máy v Trong trường hợp chuyển động thẳng, việc đo vận tốc dài thường chuyển ... điện từ Cảm biến gồm có hai phần: phần cảm (nguồn từ thông) phần ứng (phần có từ thông qua) Khi có chuyển động tương đối phần cảm phần ứng → từ thông (Φ) qua phần ứng biến thiên → phần ứng xuất ... trung bình tương đối cao (f~10kHz) (vật có khối lượng nhỏ) → CB gia tốc áp trở áp điện • Gia tốc va đập, gia tốc tốc có dạng xung → CB gia tốc có dải thông rộng hai phía f thấp cao 2.1 Nguyên lý...
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... định theo công thức sau: = ( ) pR 16 Yh (8.16) - 134 - Màng uốn nếp có đặc tính phi tuyến nhỏ màng phẳng nên sử dụng với độ võng lớn màng phẳng Độ võng tâm màng uốn nếp xác định theo công thức:...
... Lò xo ống Đối với lò xo ống thành mỏng biến thiên góc tâm () dới tác dụng áp suất (p) xác định công thức: = p R2 Y bh b2 a2 + x2 (8.10) Trong đó: - hệ số poisson Y - mô đun Young ... chiều dày thành 0,1 0,3 mm Độ dịch chuyển () đáy dới tác dụng lực chiều trục (N) xác định theo công thức: - 133 - ...
... 4 Luận văn cao học chuyên ngành vật lý chất rắm Hà Nội, 2009 Trần Đức Thành Bộ giáo dục đào tạo Trường đại học sư phạm hà nội Trần Đức Thành Ngành Vật ... quỏn tớnh nh cm bin ỏp sut, cm bin lc, cm bin tc gúc, cm bin gia tc; h thng lu tr thụng tin; h thng thụng tin liờn lc khụng dõy; h thng chun oỏn y hc v.v Vit Nam, cụng ngh v linh kin MEMS ó c ... mụ phng thit k, ci tin cụng ngh v phỏt trin ng dng Hin ó hỡnh thnh mt s nhúm nghiờn cu v MEMS thuc cỏc vin nghiờn cu, cỏc trng i hc: Vin ITIM HBK H Ni, Trn c Thnh Luận văn cao học chuyên ngành...
... phần nhược điểm côngnghệ chế tạo vi tạo Côngnghệ nano, côngnghệ đầy hứa hẹn nhiều lĩnh vực sống có côngnghệ cảm biến Rồi đây, côngnghệ nano mang lại thành công vượt bậc cho côngnghệ chế tạo ... với phát triển mạnh vũ bão khoa học công nghệ, tạo nhu cầu phát triển mạnh mẽ ngành kĩ thuật, chế tạo v.v… Dĩ nhiên, côngnghệ chế tạo loại cảm biến nói chung côngnghệ chế tạo cảm biến đo vận ... thống siêu vi tồn thông lượng không mong muốn (thông lượng thừa), thông lượng điện tử, khí, nhiệt, hoá học, âm thanh, quang thông Như yêu cầu đặt phải luôn có cải tiến côngnghệ chế tạo Để hoàn...
... thuộc vào hai yếu tố chính: - Số lượng lỗ đĩa - Dải thông đầu thu quang mạch điện tử Để đo tốc độ nhỏ (~ 0,1 vòng/phút) phải dùng đĩa có số lượng lỗ lớn (500 - 1.000 lỗ) Trong trường hợp đo tốc ... Tốc độ kế xung thường có cấu tạo đơn giản, chắn, chịu đựng tốt môi trường độc hại, khả chống nhiễu chống suy giảm tín hiệu cao, dễ biến đổi tín hiệu sang dạng số Tuỳ thuộc vào chất vật quay dấu ... lõi sắt từ chịu tác động nam châm vĩnh cửu đặt đối diện với đĩa quay làm vật liệu sắt từ có khía Khi đĩa quay, từ trở mạch từ biến thiên cách tuần hoàn làm cho từ thông qua cuộn dây biên thiên,...
... áp điện dạng ống, điện tích cực xác định theo công thức: Q = kF 4dh (8.29) D d2 Trong đó: D, d - đờng kính đờng kính phần tử áp điện h - chiều cao phần phủ kim loại - 140 - Giới hạn cảm biến ... đổi tơng đối trở kháng theo ứng lực tính xác định theo biểu thức: R = R0 Trong hệ số áp trở tinh thể (~ 4.10-10 m2/N), biểu thức điện áp có dạng: Vm = IR (8.28) - 139 - Bộ chuyển đổi kiểu...
... xác định theo công thức: a= b pR + = h h3 Yh (8.17) Với a, b hệ số phụ thuộc hình dạng bề dày màng Khi đo áp suất nhỏ ngời ta dùng màng dẻo hình tròn phẳng uốn nếp, chế tạo từ vải cao su Trong ... châm điện, thay đổi độ tự cảm cuộn dây Nếu bỏ qua điện trở cuộn dây, từ thông tản tổn hao lõi từ độ tự cảm biến đổi xác định công thức sau: W2 L= l tb / (àS tb ) + / (à S ) (8.21) Trong đó: W - ... chiều dài tiết diện khe hở không khí à, à0 - độ từ thẩm lõi từ không khí Thôngthờng ltb/(àStb)
... công thức sau: p = p + gh (8.3) Trong đó: p0 - áp suất khí - khối lợng riêng chất lu g- gia tốc trọng trờng Để đo áp suất tĩnh tiến hành phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua lỗ đợc khoan ... áp suất tác dụng lên mặt phẳng áp suất tổng Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch áp suất tổng áp suất tĩnh Thôngthờng việc đo hiệu (p - pt) thực nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ... tĩnh chất lỏng làm việc áp kế 8.2.1 áp kế vi sai kiểu phao áp kế vi sai kiểu phao gồm hai bình thông nhau, bình lớn có tiết diện F bình nhỏ có tiết diện f (hình 8.3) Chất lỏng làm việc thuỷ ngân...
... rung hệ thống vũ khí v.v Côngnghệ MEMS côngnghệ tiên tiến phát triển mạnh năm gần tính ưu việt công nghệ, cho phép thu nhỏ kích thước linh kiện Việc phát triển côngnghệ MEMS để chế tạo cảm ... Tài liệu tham khảo Đỗ Hữu Bình 38 -3- K31A Khóa luận tốt nghiệp Khoa Vật lý Mở đầu lí chọn đề tài Ngy với phát triển vượt bậc khoa học kỹ thuật, ngành côngnghệ vi điện tử đạt đỉnh cao ... K31A Khóa luận tốt nghiệp Khoa Vật lý Chương Tìm hiểu côngnghệ chế tạo cảm biến Đề suất ứng dụng cảm biến 3.1 Các kỹ thuật côngnghệ MEMS 3.1.1 Gia công vi khối Gia công vi khối lấy phần thể...