phún xạ dùng súng magnetron
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng tin bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC docx
... 3.1.1.Khảo sát ảnh hưởng phún xạ theo tỉ lệ khí Nitơ Argon Với tỉ lệ % Nitơ Argon, khảo sát điện trở suất màng theo phún xạ đồ thị (hình 1) tìm điện trở suất thấp ứng với phún xạ ngưỡng ) Kết nhận ... phổ nhiễu xạ tia X (hình 2) cho thấy đỉnh phổ tương ứng mặt (111) giảm tăng phún xạ có giải phóng lượng, làm giảm lượng bề mặt, tức làm tăng lượng biến dạng, bậc tinh thể tăng Khi phún xạ đạt giá ... riêng phần Nitơ, ta tìm phún xạ ngưỡng để thắng Nitride hóa bia tạo hợp thức tốt màng cho điện trở suất thấp Vì ta cần thay đổi tỉ lệ khí Nitơ Argon Đồng thời thay đổi phún xạ áp suất riêng phần...
- 10
- 676
- 2
Báo cáo nghiên cứu khoa học: "CƠ CHẾ PHA TẠP NITƠ VÀO TINH THỂ TIO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC" docx
... 5.XRD theo công suất phún xạ Hình 6.Ảnh hưởng công suất phún xạ Trang 59 Science & Technology Development, Vol 11, No.06 - 2008 3.KẾT LUẬN Bằng phương pháp phún xạ phản ứng D.C magnetron không cân ... Với phương pháp phún xạ magnetron, tác giả [8] cho rằng, nồng độ pha tạp N phương pháp nhỏ, cỡ 1,4at% pha tạp chủ yếu qui định phản ứng ion N+2 lượng thấp, thành lập plasma phún xạ Phản ứng N+2 ... bảng hình Mặt khác, biết, cấu trúc màng phụ thuộc vào công suất phún xạ trình tạo mẫu Để khảo sát phụ thuộc vào công suất phún xạ chế tạo mẫu với công suất 120W, 160W, 200W 240W Kết XRD tính...
- 6
- 588
- 0
Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc
... phún xạ cải thiện gọi hệ phún xạ magnetron ( chiều xoay chiều ) 3.2 HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.2.1 Cấu tạo Hình 3.3 Hệ phún xạ magnetron cân Hệ magnetron (hình 3.3) hệ cải tiến kỹ thuật phún xạ ... thạc sĩ Vật Lý 26 HV: Đinh Cơng Trường Có phương pháp phún xạ cathode phún xạ chiều (dc) phún xạ xoay chiều (rf) Phún xạ chiều kỹ thuật phún xạ sử dụng hiệu điện chiều để gia tốc cho iơn khí Bia ... HV: Đinh Cơng Trường Hình 3.5 Hệ nam châm hệ phún xạ magnetron DC Mặc dù cải thiện từ hệ phún xạ cathode hệ phún xạ magnetron cân có cơng suất phún xạ chưa cao áp suất cao (10-2torr) đường sức...
- 67
- 695
- 0
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT TÍNH QUANG XÚC TÁC CỦA MÀNG TiO2 TẠP CHẤT V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC
... điều kiện áp suất phún xạ 3.10 -3 torr, nhiệt độ đế 200oC, khoảng cách bia đế 5cm, công suất phún xạ 100W, dòng phún xạ 0,2 A, tỉ lệ khí Ar (70%) - O (30%), thời gian phún xạ 60 phút có tính ... trí hệ đồng phún xạ Màng phủ lên đế thủy tinh đặt song song với bia Ti Khoảng cách từ bia đến đế 5cm, hai hệ magnetron nghiêng góc 25o, áp suất phún xạ 3.10-3 torr, công suất phún xạ bia Ti 100W ... suất phún xạ bia Ti 100W công suất phún xạ bia V thay đổi từ 20-100W để thay đổi nồng độ pha tạp V vào màng Đế thủy tinh gia nhiệt đến 200oC thời gian phún xạ mẫu giữ nguyên 60 phút Buồng hút...
- 6
- 543
- 0
Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng
... dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp ... 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 350-750oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti ... 2.7*10-4 Pa Thời gian phún xạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm Quang phổ Laser ĐO TÍNH CHẤT MÀNG: Cấu trúc màng, thông tin phase (anatase hay rutile) đo quang phổ kế tia X sử dụng xạ Cu Kα (0.1542nm)...
- 16
- 379
- 0
Phương pháp phún xạ magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn
... màng mỏng phún xạ rf - Chế tạo màng mỏng TiO2 phún xạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương pháp phún xạ magnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương pháp phún xạ rf, Ứng dụng phương pháp phún xạ magnetron ... ion hóa xảy phún xạ cao áp Tuy nhiên, ngày phún xạ cao tần riêng biệt không sử dụng hiệu suất phún xạ chưa cao Người ta sử dụng phún xạ magnetron để khắc phục nhược điểm 1.3.3 Phún xạ magnetron ... Chương Phương pháp phún xạ 1.1 .Phún xạ 1.2 Bản chất trình phún xạ 1.3 Các loại phún xạ 37 1.3.1 Phún xạ phóng điện chiều 1.3.2 Phún xạ phóng điện xoay...
- 39
- 1,022
- 0
nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron
... bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp hai hay nhiều khí từ nguồn khí Ar, O 2, N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ ... suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 torr 6.10-3 torr N2, N2O, Ar Corning 7059 5.0cm 80W 300oC Màng sau phún xạ tiến hành đo ... trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp phún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng...
- 7
- 1,834
- 20
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx
... pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường hỗn hợp khí làm việc Argon khí phản ứng Oxy Vật liệu đế chọn đế thủy tinh Si, phún xạ ... thu hồng ngoại IR phổ tán xạ tia X THỰC NGHIỆM Hệ phún xạ dùng máy Univex 450 Màng Al2O3 phún xạ từ bia nhôm kim loại Điều kiện tiến hành tính tóan trước phương pháp mô dùng thuật tóan Monte Carlo ... turbo Do đó, bia dùng bia nhôm kim loại với độ tinh khiết 99.9% Việc dùng bia kim loại chế độ rf nhằm thích ứng với tượng oxyt hóa bề mặt bia làm bia dần trở nên cách điện trình phún xạ phản ứng với...
- 11
- 791
- 0
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx
... độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phương pháp phún xạ magnetron - gây ứng ... cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thơng số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng (nm) 1000 Hình Phổ truyền ... tinh thể khảo sát phép phân tích giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD) Kích thước hạt tinh thể xác định cơng thức Scherrer Từ kết cơng trình [1,4], q trình phún xạ tạo màng, áp suất hỗn hợp khí làm việc Ar+O2...
- 6
- 802
- 1
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx
... ZnO-Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt độ phòng Tính ... lượng cao vận tốc phún xạ thấp (v = 3.8 Α /s) Bảng 2[5] Mẫu Vị trí a Bề dày (nm) 760 ρ (Ω.cm) 5.3 x 10 d e 1900 - x 10 -4 1400 4.9 x 10-4 Hình Cách bố trí thí nghiệm bia -đế hệ phún xạ [5] Ta nói ... suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phương pháp phún xạ magnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý...
- 5
- 415
- 0
Đề Tài: Mô phỏng Plasma phóng điện khí Argon trong hệ phún xạ Magnetron DC bằng phương pháp MIC/MCC potx
... phóng ñi n sáng DC h phún x magnetron 1.1.1 Khái ni m v plasma 1.1.2 Phóng ñi n sáng DC 1.1.3 H phún x magnetron 1.2 Các bư c xây d ng h phún x magnetron o ... phún x v t li u cathode ðây ch r t quan tr ng ñư c s d ng phún x magnetron ñ l ng ñ ng màng m ng M t th o lu n chi ti t cho mi n c a phóng ñi n sáng có th ñư c tham kh o [61] 1.1.3 H phún x magnetron ... t, d n ñ n h t b phún x l ng ñ ng không ñ ng nh t ñ , nên màng thu ñư c có ñ ñ ng ñ u không cao 1.2 Các bư c xây d ng h phún x magnetron o Các module b n ñ xây d ng h phún x magnetron o (hình...
- 104
- 542
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc
... Mô hình hệ phún xạ magnetron Hình Sơ đồ hệ đo Δabs Hình Quang phổ liên tục Hình Phổ phát xạ bóng đèn UVA Hình 10 Bóng đèn UVA 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát ... NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49 (0,45 ... thuật phún xạ phản ứng DC magnetron không cân dễ thu cấu trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún...
- 8
- 603
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: "MÔ HÌNH HÓA VÀ MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH TẠO MÀNG Al2O3 BẰNG PHÚN XẠ MAGNETRON" doc
... lượng 100’000 hạt phún xạ Al Ti (trái) kết tương tự [8] với mơi trường Ar lượng bắn phá cỡ 440 eV (phải) Quỹ Đạo Mơ Phỏng 500 Hạt Al Phún Xạ Quỹ Đạo Mơ Phỏng 500 Hạt Al3O3 Phún Xạ TRAJECTORIES ... hiệu tương ứng cho phân tử khí hạt phún xạ Việc đưa đại lượng nhiệt độ vào nhằm tính đến độ linh động hạt tham gia tán xạ Bia Đế Hình1 Mơ hình va chạm hạt phún xạ với hạt khí mơi trường Hình 2.Mơ ... lắng đọng với q trình phún xạ hình thành màng cho ta cơng cụ hữu hiệu để hồn thiện cơng việc nghiên cứu kỹ thuật phún xạ hình thành màng MODELING AND SIMULATION OF THE MAGNETRON SPUTTERING PROCESS...
- 7
- 491
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc
... 0 1 0 0 b u o c s o n g (n m ) Hình Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận ... 4.KẾT LUẬN Màng tạo phương pháp phún xạ magnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp phún xạ dc Cấu trúc màng phần lớn đa ... hầu hết hệ thống phún xạ rf, người ta mắc thêm tụ điện điều cho phép hệ thống hoạt động với bia dẫn điện Các hạt ion chịu tác dụng tự hiệu dịch VDC gia tốc tới bia tạo phún xạ Thực vậy, electron...
- 7
- 692
- 2
Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học " CÁC TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG MỎNG ĐA LỚP TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON " pdf
... ion âm oxygen hệ phún xạ magnetron với bia ZnO:Al Tạp chí phát triển KHCN –ĐHQG Tp.HCM, tập 7, số 1/2004 [2] Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO:Al phương pháp phún xạ magnetron DC Tạp ... pháp phún xạ magnetron DC Hội nghị ứng dụng Vật lý toàn quốc lần thứ 2, 10-11/12/2004 5.2 Các công trình hoàn thành công bố tạp chí KH [1] Tạo màng gương nóng truyền qua phương pháp phún xạ magnetron ... ZnO: Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC để chế tạo tế...
- 4
- 644
- 1
Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc
... In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO:In Lắng đọng phún xạ [147] ZnO:B Lắng ... 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt vật liệu (bia) bắn phá hạt lượng cao gọi phún xạ Những nguyên tử phún xạ ngưng tụ đế để ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền...
- 60
- 666
- 1
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 PHA TẠP V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... phún xạ magnetron ưu điểm phương pháp không phức tạp, dễ triển khai diện rộng, đồng thời sau hoàn thành màng có độ bền học cao độ dày đồng 2.1.1 Hệ phún xạ magnetron DC [8] Hình 2.1 Hệ phún xạ ... XÚC TÁC 3.1 Chế Tạo Màng Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Magnetron Không Cân Bằng 3.1.1 Lắp ráp hệ giá đỡ đồng phún xạ Chúng sử dụng hệ phún xạ chân không phòng thí nghiệm Quang - Quang Phổ, ... tiến hành với thay đổi điều kiện chế tạo màng: áp suất phún xạ, dòng phún xạ, phún xạ, tỉ lệ khí, khoảng cách bia – đế, góc nghiêng θo hệ magnetron SVTH: Lê Anh Duy 44 MSSV: 0613065 Khóa Luận...
- 75
- 916
- 2
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 PHA TẠP V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... suất phún xạ bia V Tối ưu : 80W Thực nghiệm, kết bàn luận Khoảng cách bia - đế 5cm Công suất phún xạ bia Ti: 100W Công suất phún xạ bia V: 80W Tỉ lệ khí O2:Ar 10% Thời gian phún xạ 60 ... 5cm Công suất phún xạ bia Ti: 100W Công suất phún xạ bia V: 80W Góc nghiêng θo :25o Thời gian phún xạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khoảng cách bia - đế 5cm Công suất phún xạ bia Ti: 100W ... Đồng Phún Xạ Phản Ứng Dùng phương pháp phún xạ để thu màng có độ bền cao đảm bảo yêu cầu quang xúc tác Thực nghiệm, kết bàn luận Tạo Màng TiO2 Pha Tạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Phản...
- 32
- 654
- 0
Tìm thêm: hệ việt nam nhật bản và sức hấp dẫn của tiếng nhật tại việt nam xác định các mục tiêu của chương trình xác định các nguyên tắc biên soạn khảo sát các chuẩn giảng dạy tiếng nhật từ góc độ lí thuyết và thực tiễn khảo sát chương trình đào tạo của các đơn vị đào tạo tại nhật bản xác định thời lượng học về mặt lí thuyết và thực tế điều tra đối với đối tượng giảng viên và đối tượng quản lí điều tra với đối tượng sinh viên học tiếng nhật không chuyên ngữ1 khảo sát thực tế giảng dạy tiếng nhật không chuyên ngữ tại việt nam khảo sát các chương trình đào tạo theo những bộ giáo trình tiêu biểu nội dung cụ thể cho từng kĩ năng ở từng cấp độ phát huy những thành tựu công nghệ mới nhất được áp dụng vào công tác dạy và học ngoại ngữ các đặc tính của động cơ điện không đồng bộ hệ số công suất cosp fi p2 đặc tuyến mômen quay m fi p2 đặc tuyến tốc độ rôto n fi p2 sự cần thiết phải đầu tư xây dựng nhà máy thông tin liên lạc và các dịch vụ phần 3 giới thiệu nguyên liệu chỉ tiêu chất lượng theo chất lượng phẩm chất sản phẩm khô từ gạo của bộ y tế năm 2008