cảm biến nhiệt độ kiểu điện trở pt100pt1000
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Ngày tải lên :
16/03/2014, 12:43
... đa dạng thì đòi hỏi các cảm biến áp suất phải
đáp ứng một cách tốt nhất cho từng trường hợp cụ thể. Chính vì vậy cảm biến áp suất kiểu áp
trở, nó đáp ứng phần nào về độ nhạy và khả năng đo áp ... thể, đây là vật liệu được sử dụng phổ biến nhất trong linh kiện
MEMS và đặc biệt là đặc tính áp điện trở.
Việc nghiên cứu MEMS cảm biến áp suất áp điện trở được thực hiện bằng thiết kế và
mô ... chế tạo cảm biến trên cơ sở hiệu ứng áp trở, Luận
án Tiến Sĩ Vật Lý, Trường Đại Học Bách Khoa, Hà Nội.
[2]
Chu Mạnh Hoàng (2007), Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở kích...
- 4
- 1.1K
- 7
