chế tạo màng zno đồng pha tạp in n bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 25/05/2015, 23:10

... ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất đi n màng ZnO: (In, N) : 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In l n tính chất đi n màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG N NG ĐỘ TẠP In Tính chất quang màng ZnO: (In, ... MÀNG ZnO: (In, N) 3.2 Hệ ph n xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không c n bằng: - Tăng thông lượng ion đi n tử đ n đế - Tăng lượng hạt đ n đế Cấu tạo hệ magnetron CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, ... ẢNH HƯỞNG N NG ĐỘ TẠP In Cấu trúc màng ZnO: (In, N) : Tạp In (% khối lượng) Kích thước hạt (D) thay đổi theo tạp In ẢNH HƯỞNG CỦA N NG ĐỘ TẠP In Tính chất đi n màng ZnO: (In, N) : Tính chất điện...

52
1.4K
0

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:39

... điều ki n độ dày màng dễ dàng biết tốc độ lắng động ch n thời gian ph n xạ phù hợp 3.2 Ph n xạ magnetron phẳng 3.2.1 Ưu điểm phương pháp ph n xạ magnetron phẳng Phương pháp ph n xạ magnetron có ... Phương pháp đồng pha tạp nhóm áp dụng chế tạo thành công màng ZnO: (In, N) b n d n loại p [6] Tuy nhi n công trình tr n, chúng tơi dừng lại việc nghi n cứu ảnh hưởng tỷ lệ khí N 2/ (N2 + Ar) ảnh ... Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp ph n xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử dụng phổ bi n phòng thí nghiệm giới n ớc ta 3.1 Khái niệm ph n xạ Ph n xạ trình ngưng tụ...

106
1.7K
1

Chế tạo màng zno pha tạp al, ga bằng phương pháp phún xạ ứng dụng làm điện cực trong suốt dẫn điện

Ngày tải lên : 15/07/2017, 23:16

... In4 Sn3O12 MgIn2O4 GaInO3, (Ga, In) 2O3 Sn, Ge CdSb2O6 Y ZnO – In2 O3 – SnO2 Zn 2In2 O5 – In4 Sn3O12 CdO – In2 O3 – SnO2 CdIn2O4 – Cd2SnO4 ZnO – CdO – In2 O3 – SnO2 Bảng I.1: Các chất b n d n TCO dùng ... thành mơi trường plasma Ta sử dụng hiệu ứng ñể chế tạo màng mỏng Do phương pháp ph n xạ dựa nguy n lý tạo plasma ñể chế tạo màng mỏng n n phương pháp tạo màng mỏng laser gọi ph n xạ laser Tuy nhi n, ... exciton l n (~ 60 meV) B n th n màng ZnO màng d n ñi n suốt ta pha tạp Al Ga vào màng ZnO tính chất quang tính chất ñi n màng tốt nhiều so với màng ZnO chưa pha tạp Màng ZnO pha tạp Al Ga (AGZO) vật...

84
136
0

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:52

... hướng phát tri n cơng nghệ màng mỏng chung Việt Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phương pháp khác nhau, phương pháp phổ bi n nước ta phương pháp ph n xạ magnetron DC RF Đây phương pháp giúp nhà ... để sử dụng chế tạo màng Hình 3.7: Bia vừa chế tạo thành cơng Hình 3.8: Bia ph n xạ 3.2 Hệ tạo màng trình ph n xạ Hệ tạo màng ph n xạ magnetron DC phòng thí nghiệm m n Quang Học Ứng Dụng, khoa ... n n phương pháp tạo màng với thơng số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp ph n xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử dụng phổ bi n phòng...

72
1.6K
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20

... tinh thể anatase với di n tích mặt l n Màng tạo dòng ph n xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà khơng phải xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng ph n xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng cơng nghệ phủ màng ... n ớc chảy li n tục 10 phút, kính b n Trong đó, kính phủ màng dính b n tự làm vòi n ớc chảy KẾT LU N Thực nghiệm cho thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật ph n xạ ph n ứng DC magnetron không c n dễ thu ... Hình Quang phổ li n tục Hình Phổ phát xạ bóng đ n UVA Hình 10 Bóng đ n UVA 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng ph n xạ Khảo sát mẫu có điều ki n ph n xạ, khác cường độ dòng ph n xạ, ...

8
603
0

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Ngày tải lên : 10/04/2015, 17:29

... Phun nhiệt ph n [100] In2 O3:Sn Phun nhiệt ph n [126] In2 O3 Lắng đọng ph n xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng ph n xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt ph n [133] ZnO: In Phun nhiệt ph n [112] ZnO: Al Lắng đọng ph n ... 40% khơng thể nguy n nh n t n xạ l n, thường tìm thấy TiN Thành ph n nguy n tố TiN li n quan đ n đi n trở suất màng, màng TiN giàu nitơ có đi n trở suất cao màng TiN giàu titan 40 1.4.5 Cơ chế ... gây ph n xạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp ph n xạ Phương pháp ảnh hưởng đ n thông số trình gây plasma, mối li n hệ chúng l n tính chất màng lắng đọng Quá trình ph n xạ trình bày...

60
666
1

THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:42

... tố ảnh hưởng đ n độ dày màng mỏng ph n xạ? N i đ n độ dày màng mỏng ph n xạ tức xem xét hiệu suất trình ph n xạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình ph n xạ tổng nguy n tử ph n xạ tổng ion tới ... ngu n đi n trở nhỏ  Thời gian ph n xạ lâu n n lớp màng m n  Hiệu suất tạo màng cao  Các nguy n tử bị ph n xạ ph n bố đồng bề mặt đế, n n chất lượng màng tốt  Ít t n nguy n liệu ph n xạ ta ... CHUY N ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PH N XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng ph n xạ: Ph n xạ tượng nguy n tử bề mặt vật liệu bị bứt bị b n phá ion...

11
501
0

chế tạo vật liệu tổ hợp pzt-nife-cofe bằng phương pháp phún xạ các màng mỏng sắt từ lên đế áp điện pzt phân cực quang và phân cực dọc

Ngày tải lên : 12/08/2015, 19:54

... h n chế màng dễ bị r n nứt xử lí nhiệt độ cao, vật liệu bị ph n tách thành lớp với màng dày, li n kết màng yếu … 2.1.2 Phương pháp ph n xạ sputtering a Nguy n lý phương pháp ph n xạ Chế tạo màng ... mặt nhằm nghi n cứu ảnh hưởng điều ki n chế tạo khác l n tính chất màng: - Nhiệt độ đế thay đổi: điều ki n quan trọng ảnh hưởng l n đ n hình thành tinh thể màng mỏng n i chung màng mỏng PZT n i ... màng có độ tinh khiết cao Phương pháp có nhiều ứng dụng việc tạo màng bảo vệ, màng có tính chất quang học, tạo màng chống ph n xạ, kính giao thoa… Tuy nhi n, chế tạo màng PZT phương pháp sol-gel...

75
287
1

Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Ngày tải lên : 14/05/2016, 09:25

... Phun nhiệt ph n [100] In2 O3:Sn Phun nhiệt ph n [126] In2 O3 Lắng đọng ph n xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng ph n xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt ph n [133] ZnO: In Phun nhiệt ph n [112] ZnO: Al Lắng đọng ph n ... 40% khơng thể nguy n nh n t n xạ l n, thường tìm thấy TiN Thành ph n nguy n tố TiN li n quan đ n đi n trở suất màng, màng TiN giàu nitơ có đi n trở suất cao màng TiN giàu titan 40 1.4.5 Cơ chế ... đọng ph n xạ [117] ZnO: In Lắng đọng ph n xạ [147] ZnO: B Lắng đọng hóa học [182] ZnO: Ga Lắng đọng ph n xạ [32] ZnO: F Lắng đọng hóa học [73] ZnO: Al Lắng đọng hóa học [74] ZnO: Ga Lắng đọng hóa học...

170
663
1

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:29

... dày màng mỏng ph n xạ li n quan đ n hiệu suất trình ph n xạ - Hiệu suất trình ph n xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguy n tử ph n xạ Ni tổng ion tới Như vậy, yếu tố ảnh hưởng đ n độ dày màng mỏng ph n xạ ... xuy n sâu cao  Dùng ngu n đi n trở nhỏ  Các nguy n tử bị ph n xạ ph n bố đồng bề mặt đế, n n chất lượng màng tốt  Ít t n nguy n liệu ph n xạ ta điều chỉnh dòng ph n xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG ... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khi n Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó kh n với phương pháp Phương pháp ph n xạ: Hình - Quá trình ph n xạ Cơ chế phương pháp ph n xạ: Ph n xạ không...

15
2.4K
2

Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Ngày tải lên : 15/08/2015, 11:09

... cho màng suốt d n đi n Hướng nghi n cứu mới, pha tạp nguy n tố đất (Sc, Y…) vào ZnO để tạo màng suốt d n đi n Thí nghiệm •Dùng phương pháp ph n xạ magnetron DC –Bia (đường kính 150mm): h n hợp ... Phương pháp chế tạo - Ph n xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng đi n cực suốt cho hình dẹt, hình ... màng: –Độ dày màng đo phương pháp Stylus –Đi n trở suất độ linh động Hall đo nhiệt độ phòng phương pháp Van der Pauw –Thành ph n cấu tạo màng đo phổ t n xạ lượng tia X (EDS) –Cấu trúc tinh thể khảo...

9
299
0

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 13:20

... nghi n cứu tham khảo ảnh hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng l n tính chất đi n phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế d n đi n màng Chúng tơi tạo màng ZnO- Ga có điều ki n tạo màng khác nhiệt ... oxy Màng ZnO- Ga d n đi n chủ yếu tạp chất donor, n n không bị ảnh hưởng nhiệt độ ủ khơng khí Trong đó, màng ZnO- Al khơng hồ tan r n thay tốt n n bi n dạng mạng tăng, hình thành lỗ trống oxy nhiều, ... phương pháp ph n xạ magnetron có lượng cao) Tính chất đi n cấu trúc màng g n không phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý Cơ chế d n đi n màng chủ yếu hạt tải tự sinh pha tạp donor hình thành lỗ trống oxy...

5
415
0

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Ngày tải lên : 18/03/2013, 11:49

... bia trình ph n xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp ph n x magnetron ph n ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ... tăng ZnO: N 0,79eV chấp nh n dùng để chế tạo ZnO loại p ZnO PHA TẠP NITƠ Một yếu tố quan trọng định thành công hay thất bại việc chế tạo b n d n loại p ZnO: N hòa tan vào tinh thể ZnO N trạng ... mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp ph n xạ magnetron RF điều ki n nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N có chiều...

7
1.8K
20

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 10:20

... Science & Technology Development, Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghi n cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp ph n xạ magnetron rf chuy n pha xử lý nhiệt sau Màng ph n xạ ph n ứng ... g n vơ định hình tương tự kết công bố [12], chuy n pha ủ nhiệt ti n hành sau ghi nh n phổ hấp thu hồng ngoại IR phổ t n xạ tia X THỰC NGHIỆM Hệ ph n xạ dùng máy Univex 450 Màng Al2O3 ph n xạ ... suất màng cao màng bốc bay ph n ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết...

11
791
0

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 11:20

... trình ph n xạ tạo màng, áp suất h n hợp khí làm việc Ar+O2 c n mức cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất n n phá hỏng màng Các thông số tạo màng phương pháp ph n xạ magnetron ph n ứng cơng trình ... LU N Công trình chế tạo thành cơng màng d n đi n suốt SnO2:Sb phương pháp ph n xạ magnetron ph n ứng kết hợp với trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truy n qua cực đại vùng ... mạng màng lắng đọng nhiệt độ đế khác Bảng cho thấy ứng suất màng ln có giá trị âm, nghĩa màng chịu ứng suất n n Màng lắng đọng nhiệt độ đế cao có ứng suất n n màng l n Ngồi kích thước hạt tinh...

6
802
1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " CHẾ TẠO MÀNG MỎNG SnO2 CÓ CẤU TRÚC NANO BẰNG PHƯƠNG PHÁP SOL-GEL" docx

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20

... l n Tuy nhi n, hạt định hướng ngẫu nhi n, không xác định hướng ưu ti n Ở màng nung 400oC ta quan sát hạt có cấu trúc đa tinh đồng mặt kích thước a) b) Hình Ảnh SEM mẫu màng SnO2 tương ứng với nhiệt ... hạt SnO2 nh n tính từ độ b n rộng đỉnh t n xạ đặc trưng gi n đồ nhiễu xạ tia X (ứng với mặt (110)) nhờ công thức Scherrer Kết cho bảng 1: Bảng Ảnh hưởng nhiệt độ nung l n kích thước hạt SnO2 Nhiệt ... mặt màng có đồng kích thước hạt có xuất lỗ xốp tương đối đồng Hình Ảnh SEM mẫu màng SnO2 tổng hợp với chất phụ gia khác 4.KẾT LU N Màng SnO2 với tinh thể SnO2 tạo thành phương pháp Sol-gel thông...

6
937
4

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 10:21

... màng tạo phương pháp dc, ta nh n thấy màng tạo phương pháp dc t n dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạo phương pháp ph n xạ dc – nhiệt độ đế 2700C; b/ tạp phương pháp ph n ... o n g (n m ) Hình Phổ truy n qua màng TiO2 tạo từ phương pháp ph n xạ magnetron rf (1) ph n xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truy n qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nh n thấy độ truy n ... LU N Màng tạo phương pháp ph n xạ magnetron rf suốt, có độ truy n qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp ph n xạ dc Cấu trúc màng ph n l n đa tinh...

7
692
2

Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Ngày tải lên : 15/08/2015, 10:06

... Page  N i dung Page  Tổng quan Màng ITO Phương pháp ph n xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất ph n xạ Nhiệt độ ... Trường ĐH KHTN-ĐHQG Tp.HCM Cao Thị Mỹ Dung (2002), Tổng hợp màng suốt d n đi n ITO đế thủy tinh phương pháp ph n xạ Magnetron, Lu n v n tốt nghiệp đại học, Trường ĐHKHTN-ĐHQG Tp.HCM Nguy n Năng ... dày màng Khí oxi Xử lý nhiệt sau phủ Tổng quan Page  Màng ITO ITO: h n hợp Indium oxide (In2 O3 ) Tin Oxide (SnO2), Cơ chế d n đi n: electron d n sinh có pha tạp donor thiếu oxi cấu trúc màng...

31
1.4K
1

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

Ngày tải lên : 15/08/2015, 11:08

... emulsion interior Paints, Enamels 2- Road-Marking Paints 3- Filler , Primers, and undercoat 4- Paper Industry 5- Plastic Industry 6- Rubber Industry 7- Cement Industry Rutile widely used in painting, ... Quang phổ Laser MỤC ĐÍCH: Nghi n cứu ảnh hưởng tỉ lệ dòng oxy đưa vào hệ ph n xạ việc chế tạo màng Nghi n cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế ... crystalline anatase and rutile ﬁlms are obtained after 550°C and 750°C annealing _ The intensity of both anatase and rutile peaks increases with increasing temperature GIXRD patterns of titanium...

16
379
0

Nghiên cứu tổng hợp oxit nano ZnO có pha tạp Mn, Ce bằng phương pháp đốt cháy và định hướng ứng dụng của chúng

Ngày tải lên : 21/03/2016, 09:16

... trí n t mạng để lại vị trí trống Oxit nano ZnO có nhiều hình dạng khác màng mỏng, sợi nano, dây nano, nano, ống nano hay t n dạng lá, dạng lò xo, dạng đĩa, dạng cánh hoa… Hình 1.3:Ảnh hi n vi ... phương pháp trắc quang Một số phương pháp đ n gi n không c n máy móc như: phương pháp dãy chu n nh n màu, phương pháp chu n độ so sánh màu, phương pháp c n màu mắt…Các phương pháp xác định n ng độ ... TFTs) ứng dụng s n xuất màng ảnh màng mỏng ZnO có độ linh động đi n tử cao Tuy nhi n để dùng cho hệ cảm bi n khí, sợi nano ZnO lựa ch n t n dạng sợi giúp tăng di n tích tiếp xúc vật liệu ZnO với...

73
919
1