1. Lý do chọn đề tàiKhuếch tán là một quá trình cơ bản và phổ biến nhất của tự nhiên. Khuếch tán có mặt trong mọi lĩnh vực của cuộc sống. Khuếch tán có vai trò quan trọng trong hầu hết các ngành khoa học. Cùng với sự phát triển mạnh mẽ của ngành công nghiệp điện tử, vi điện tử thì khuếch tán tạp chất trong các vật liệu bán dẫn như Si, Ge, GaAs … đã trở nên đặc biệt quan trọng. Khuếch tán đóng ...