Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM II-P-1.41 NGHIÊN CỨU VÀ THIẾT KẾ THIẾT BỊ ĐO NỒNG ĐỘ OZON SỬ DỤNG TIA CỰC TÍM Lê Văn Mến1, Lorion Vincent4 , Nguyễn Huyền Trang1, Nguyễn Hữu Trung1, Nguyễn Thanh Phong2 Nguyễn Văn Hiếu1,3,* Khoa Vật Lý Vật Lý Kỹ thuật, Trường ĐH Khoa học Tự Nhiên, ĐHQG Tp.HCM; PTN Công nghệ Nano, Đại học Quốc Gia Tp HCM; PTN linh kiện quang điện, Khoa KH Công nghệ, Đại học Ritsumeikan, Shiga, Nhật bản; ESIEA-Ouest, 38 Rue des Docteurs Calmette et Guérin, 53000 Laval, Pháp; Email: nvhieu@hcmus.edu.vn, lvmen@yahoo.com TÓM TẮT Chúng thiết kế chế tạo hệ thí nghiệm sử dụng tia cực tím cảm biến để nghiên cứu khả đo nồng độ ozon không khí Đây kỹ thuật dựa vào đặc tính phân hủy ozon thành oxy tia cực tím mà ứng dụng việc chế tạo thiết bị đo lường thông số không khí cho khảo sát môi trường Nhóm nghiên cứu sử dụng nguồn cực tím từ đèn uvled để xác định phân hủy ozon Hệ đo nồng độ ozon chế tạo dựa linh kiện điện tử,cảm biến chuyên dụng ống kín bơm- hút khí để đo nồng độ ozon theo đơn vị g/cm 3, ppm, ppb Trong phần này, trình bày số kết đo đạc nồng độ ozon ban đầu từ nguồn ozon lấy từ đầu máy sục ozon bán thị trường Nghiên cứu có hỗ trợ nhóm nghiên cứu Nhật bản, thực tập sinh Pháp đối chứng với thiết bị đo ozon khác có nguyên lý phòng thí nghiệm Sau hoàn chỉnh công nghệ kiểm tra an toàn, thiết bị sử dụng để khảo sát nồng độ ozon khu vực nhà máy khu công nghiệp nơi nguồn ô nhiễm không khí Từ khoá: xạ cực tím, UVLED, nồng độ ozon, thông số môi trường GIỚI THIỆU Về nguồn cực tím ozon Tia cực tím (hay tia tử ngoại , tia UV) sóng điện từ có bước sóng ngắn ánh sáng nhìn thấy dài tia X (mắt người không nhìn thấy được), có lượng từ 3eV đến 124 eV Phổ tia cực tím chia thành tử ngoại gần (có bước sóng từ 380 đến 200 nm) tử ngoại xa hay tử ngoại chân không (có bước sóng từ 200 đến 10 nm) Khi quan tâm đến ảnh hưởng tia cực tím lên sức khỏe người môi trường, phổ tia cực tím chia làm phần: UVA (380-315 nm), hay gọi sóng dài hay "ánh sáng đen"; UVB (315-280 nm) gọi bước sóng trung bình; UVC (ngắn 280 nm) gọi sóng ngắn có tác dụng diệt vi khuẩn [1] Ozon (O3) dạng thù hình ôxy, phân tử chứa ba nguyên tử ôxy thay hai thông thường Trong điều kiện nhiệt độ áp suất tiêu chuẩn ôzôn chất khí có màu xanh nhạt Ozon hóa lỏng màu xanh thẫm -112 °C, hóa rắn có màu xanh thẫm -193 °C Ozon có tính ôxy hóa mạnh ôxy, không bền, dễ dàng bị phân huỷ thành ôxy phân tử ôxy nguyên tử Khí ozon ozon thể khí, nồng độ thấp không rõ màu, nồng độ cao có màu khói lam nhạt [2] Công nghệ ozon thường sử dụng khí ozon gọi tắt ozon Nước ozon ozon đậm đặc thể lỏng (có màu xanh lục) Hỗn hợp ozon thường với không khí hay với nước Do tính ôxy hoá mạnh nên ozon có nhiều ứng trong thực tế đặc biệt an toàn vệ sinh thực phẩm, sức khoẻ môi trường: làm không khí, làm nước, khử độc rau thực phẩm, tiệt trùng nước sinh hoạt thiết bị, dụng cụ y tế, nuôi trồng thuỷ sản,… Mặt Trời phát xạ tia cực tím UVA, UVB UVC, hấp thụ tầng ozon, 99% tia cực tím đến mặt đất thuộc dạng UVA Chính đặc tính hấp thụ tạo sở cho việc đo nồng độ ozon không khí Khi chiếu tia cực tím qua vùng không khí có chứa khí ozon dựa vào độ suy giảm nguồn tia cực tím tính ngược lại nồng độ ozon không khí Các nguyên cứu nước Hợp tác nghiên cứu nhóm nhà khoa học M Degner, N Damaschke, H Ewald S O’Keeffe, E Lewis đại học Rostock Đức đại học Limerick Ai-len cho đời đo ozon sử dụng đầu dò UVLED cáp quang đôi để đo nồng độ ozon không khí, hệ thống có thang đo rộng (2ppb – 100ppm) tương đối cồng kềnh bất tiện cho việc xách tay đo đạc [14-16] Có nhiều nghiên cứu sản phẩm giới đo ozon giấy thử tẩm dung dịch hoá học phản ứng với ozon không khí người ta dựa vào màu sắc thị loại giấy để tính nồng độ ozon Nghiên cứu nhóm tác giả người Thuỵ Sĩ việc cải thiện chất lượng giấy thử ozon (phương pháp indigo) để đo trực tiếp môi trường bên (vì giấy thử tẩm dung dịch thường KI tẩm thêm hồ tinh bột ISBN: 978-604-82-1375-6 297 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM phản ứng với ozon tạo dung dịch Iot thị màu xám xanh) phương pháp độ xác không cao xác định mắt đồng thời số liệu đo đạc không tự động hoá [10] Một nghiên cứu tác giả Jacek Majewski đại học kỹ thuật Lublin (Balan) so sánh phương pháp đo ozon khác xử lý nước Tác giả có kết luận phương pháp đo sử dụng UVLED có độ tin cậy cao xác thời gian đáp ứng nhanh phương pháp khác [27] Tình hình nghiên cứu nước Trong nước có nghiên cứu ozon phần lớn ứng dụng nó: + Ứng dụng nuôi trồng thuỷ hải sản: Đề tài nghiên cứu TS Nguyễn Văn Hảo năm 2001: “Ứng dụng khí Ozone thiết bị sản xuất nước nhằm cải tiến công nghệ nuôi tôm sú thâm canh Tp.Hồ Chí Minh” đánh giá tác dụng khí ozon với vấn đề cải thện chất lượng môi trường ao nuôi, đánh giá tác dụng phối hợp sử dụng công nghệ xử lý ozon số công nghệ khác nhằm cải thiện, trì chất lượng nước ổn định suất ao nuôi tôm thâm canh + Ứng dụng khử trùng, y tế: Các nhà khoa học Viện Vật lý – Viện khoa học Công nghệ Việt nam thành công việc nghiên cứu chế tạo tủ khử khuẩn dụng cụ y tế khí ozon, model OMeS-150 Đây kết dự án sản xuất thử nghiệm cấp Viện khoa học công nghệ Việt Nam "Nghiên cứu, chế tạo thử nghiệm tủ khử khuẩn dụng cụ y tế khí ozone" phòng Vật lý Điện tử - Viện Vật lý thực (2009 2010) Dự án nghiệm thu ngày 2/6/2011 đạt kết loại A + Và nhiều ứng dụng máy sục ozon rửa rau thị trường Qua việc tìm hiểu qua báo website nghiên cứu nước giới ozon tác giả nhận thấy ozon có nhiều ứng dụng giới đặc biệt nước ta nay, ứng dụng an toàn vệ sinh thực phẩm y tế Nhưng ozon có ứng dụng đâu vấn đề kiểm soát liều lượng đo đạc ozon cần thiết để không ảnh hưởng tới người sử dụng thiết bị có ozon, môi trường sức khoẻ cộng đồng Hiện Việt Nam chưa sản xuất thiết bị đo nồng độ ozon không khí mà chủ yếu nhập từ nước với giá cao nên vấn đề xây dựng hệ đo ozon không khí kiểm soát nồng độ ozon ứng dụng vấn đề cần thiết Để đo nồng độ ozon có nhiều phương pháp đo sử dụng phương pháp hấp thụ tia UV phổ biến hiệu độ xác cao thời gian đáp ứng nhanh [27], đề tài đề xuất đo tia UV Lamp UVLED so sánh ưu khuyết điểm loại nguồn UV Trong nghiên cứu này, xây dựng chế tạo hệ thí nghiệm đo nồng độ ozon không khí sử dụng cảm biến tia cực tím buồng đo tích kiểm soát Cường độ tia cực tím bị bị đi, ozon hấp thụ để biến thành oxy, cảm biến cực tím đo đưa vào vi xử lý So sánh cường độ tia cực tím tính nồng độ ozon theo định luật hấp thụ ánh sáng Tiếp theo đó, khảo sát hiệu chỉnh thực nhằm đảm bảo xác phép đo Trong lĩnh vực này, nhóm nghiên cứu có số công bố từ thiết kế cấu trúc uvled, hợp tác phối chế tạo thử nghiệm ứng dụng khử trùng vi khuẩn ecoli, colifrom sử dụng tia cực tím mà công bố nước quốc tế [5-7] THỰC NGHIỆM Nguyên lý đo Ozon Như biết ozon bị hấp thụ tia cực tím (tia UV), dựa vào đặc điểm ta đo nồng độ ozon theo lý thuyết định luật Beer Lambert: CO3   I0  ln  l  I  (1) Trong đó: CO3 : mật độ ozon (molecules/cm3) σ : độ hấp thụ truyền qua (cm2 / molecule) l : khoảng cách từ nguồn phát đến nguồn thu (cm) : cường độ sáng ozon (lumen) I0 I : cường độ sáng có ozon (lumen) Tuy nhiên, nhà khoa học môi trường thường sử dụng đơn vi ppm (part-per-million) ppb (part-perbillion) để đo giá trị nồng độ ozon công nghiệp định nghĩa sau: 1ppm = phân tử ozon /106 phân tử không khí 1ppb = phân tử ozon /109 phân tử không khí ISBN: 978-604-82-1375-6 298 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Để chuyển từ đơn vị phân tử/ cm3 sang đơn vị ppb, ppm ta phải sử dụng đến công thức phương trình trạng thái khí lý tưởng: Cair  PN A RT (2) Trong đó: Cair : mật độ không khí (phân tử/cm3) P : áp suất khí (atm) NA : số Avadrago (6,023.1023 phân tử/mol) R : số khí lý tưởng (82,06 cm3atm/ Kmol) T : nhiệt độ tuyệt đối (K) (0C + 273,15) Từ phương trình (2) thấy để đo mật độ không khí cần phải bố trí đo thêm hai đại lượng nhiệt độ áp suất, sau theo định nghĩa có được: CO x106 Cair C ppb  O x109 Cair ppm  (3) (4) Thay (1) (2) vào (3) (4) có công thức tính nồng độ ozon không khí theo đơn vị ppm ppb: RTx106  I  ppm  ln  PN Al  I  RTx109  I  ppb  ln  PN Al  I  (5) (6) Như vậy, từ phương trình (5) (6) có nhận xét để đo nồng độ ozon không khí cần đo: P (atm), T (K), I0/I (lumen/lumen ,ampe/ampe volt/votl) : R, NA, , l số ứng với hệ đo định Thiết kế hệ đo mạch điện tử Sơ đồ khối thiết bị đo mô tả Hình Khi ozon bơm vào qua hệ bơm đồng hồ đo tích Mạch điện tử điều khiển cường độ thời gian chiếu sáng tia cực tím khí ozon buồng kín Tia cực tím bị hấp thụ ozon phân hủy chúng thành oxy làm cường độ tia uv giảm nhanh Cảm biến tia uv đo truyền vi xử lý lập trình, chuyển vào máy vi tính cho phần mềm xử lý Qua đó, biết nồng độ ozon lúc đầu Hình Sơ đồ khối hệ đo ozon không khí ISBN: 978-604-82-1375-6 299 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Hình Sơ đồ hệ đo sử dụng UVLED Nhằm tăng độ xác thiết bị đo, kích thước buồng kín chứa ozon khảo sát dài 15cm, đường kính ống trụ cm Sử dụng cảm biến bên buồng kín để xác định nhiệt độ bên nguồn UV Kết thúc lần đo, khí oxy ozon lại bơm vào chậu nước mô tả Hình 2.3 Chế tạo thử nghiệm Chú thích: Máy phát ozon HO2 Board điều khiển AT128 LCD hiển thị Bơm khí Adapter UV Lamp Cảm biến thu UV Lamp 254nm Buồng đo Bồn khí ozon thoát Hình Hệ thí nghiệm đo nồng độ ozon lắp ráp cho thử nghiệm Sử dụng linh kiện điện tử có thị trường nguồn UV Trong đó, uvled sử dụng cấu trúc uvled hợp thiết kế-tác chế tạo với Nhật để thử nghiệm khả hấp thụ ozon tia UV Chúng hoàn tất hệ thí nghiệm đo công đoạn rời nhằm khảo sát hoạt động nguồn UV độ nhạy loại cảm biến Chi tiết phần thiết bị mô tả hình Phần bên thích tên gọi thiết bị rời Sản phẩm hệ thí nghiệm phần mềm thu thập liệu Sản phẩm hệ đo hoàn chỉnh đặt khung mica đen dày chắn kích thước 32cm x 45cm x12cm để đảm bảo ánh sáng bên ảnh hưởng đến cảm biến UV làm ảnh hưởng kết đo, đồng thời thiết bị nhỏ gọn tránh việc đo đạc thiếu tính xác Ngoài thiết bị kiểm tra an toàn xạ kết đánh giá Phân viện bảo hộ lao động bảo vệ môi trường miền Nam cho kết phạm vi an toàn cho phép tiêu chuẩn Việt Nam an toàn theo định 3733/2002/QĐ-BYT Bộ Y tế ISBN: 978-604-82-1375-6 300 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Hình Hệ thí nghiệm đo nồng độ Ozone không khí sử dụng tia UV Hình hình mặt trước thiết bị gồm flowmeter điều chỉnh tốc độ dòng khí vào buồng đo, LED báo nguồn trạng thái sẵn sàng máy đo, hình LCD hiển thị thông tin kết đo đạc Mặt sau máy gồm phần công tắc jack cắm nguồn 220V AC, cổng COM cho phép kết nối máy tính qua phần mềm thu thập liệu, quạt giải nhiệt đường khí vào máy đo Hình Giao diện phần mềm thu thập liệu máy tính máy đo Phần mềm điều khiển giao tiếp máy đo viết ngôn ngữ C# NET tương thích hoàn toàn với Windows dễ điều khiển hoạt động gồm chức năng, nhận phân tích liệu nhiệt độ, áp suất hệ đo, giá trị nồng độ ozon từ máy đo với đơn vị khác nhau, đồ thị vẽ theo thời gian thực giá trị hệ đo, toàn liệu lưu lại dạng file exel file ảnh Ngoài phần mềm tích hợp khả tính toán nồng độ ozon với số liệu thực người dùng nhập vàp giúp người đo đạc hiểu rõ trình đo công thức tính toán KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Cách lấy số liệu đo đạc Số liệu lấy cho lần đo 200 mẫu cho việc đọc giá trị từ cảm biến, giá trị flowmeter thay đổi từ 1,4 lít/phút; lít/phút; 0,6 lít/phút; 0,4 lít/phút với giá trị timer máy phát ozon gồm 10 phút, 20 phút, 30 phút Tức ứng với giá trị flowmeter ta có số liệu thời gian timer thời gian đo để số liệu nồng độ tối thiểu phút Trước đo, ta cần hiểu chỉnh offset cho hệ đo nhờ chức phần mềm, sau đo giá trị đo ghi vào file exel (*.xls) hình đồ thị (*.emf) để dễ dàng cho việc ghi nhận đánh giá kết đo ISBN: 978-604-82-1375-6 301 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Hình Chuẩn bị đo đạc phòng thí nghiệm BM VLĐT KHTN TP.HCM Hình Giá trị đo tốc độ 1,4l/min vòng 10, 20,30 phút với UV Lamp *Nhận xét: Nồng độ ozon trung bình khoảng 0,30 g/m3, giá trị đo ổn định ISBN: 978-604-82-1375-6 302 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Hình Giá trị đo tốc độ 1,4l/min vòng 10,20,30 phút với UVLED *Nhận xét: Nồng độ ozon trung bình khoảng 0,15 g/m3, giá trị đo ổn định Hình 7, Hình dạng số liệu mẫu lần đo, giá trị ozon tính trung bình cho tất lần đo ứng với giá trị flowmeter đem so sánh kết với máy đo phòng thí nghiệm So sánh kết đo với máy đo chuẩn Viện vật lý TP.HCM Máy Ozone Analyzer BMT 963 công ty BMT MESSTECHNIK GMBH phòng thí nghiệm môn điện tử ứng dụng thuộc Viện Vật lý TP.HCM có nguyên lý đo với hệ thí nghiệm sử dụng phương pháp hấp thụ tia UV Hình Nguyên lý máy đo BMT963 Bảng Tổng hợp kết đo đạc máy đo sử dụng UV Lamp, UVLED so với kết lấy trung bình từ máy BMT963 Viện Vật lý TP.HCM Flow (lít/phút) 2,6 1,4 0,6 0,4 ISBN: 978-604-82-1375-6 UV Lamp(g/m3) 0,25 0,30 0,33 0,34 0,35 UVLED(g/m3) 0,10 0,15 0,20 0,25 0,25 BMT963(g/m3) 0,35 0,40 0,50 0,60 303 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Hình 10 Đồ thị giá trị đo UV Lamp UVLED hệ đo trung bình kết đo máy BMT693 thay đổi flowmeter Từ số liệu Bảng cho ta đồ thị Hình 10 với số nhận xét sau: Giá trị đo ozon theo đơn vị g/cm3 hệ đo quy luật kết với máy đo chuẩn Nghĩa máy đo chuẩn hệ đo cho kết nồng độ tăng lên giảm giá trị flowmwter Kết đo hệ sử dụng UVLED lệch xa so với UV Lamp cường độ chiếu xạ UVLED yếu công suất thấp nên độ nhạy độ thay đổi với ozon dẫn đến kết đo thấp KẾT LUẬN Thiết bị đo chế tạo hoàn chỉnh theo nguyên lý mô hình thiết kế Chúng ghi lại hấp thụ ozon rõ rệt tia cực tím từ nguồn khác đèn led Đánh giá nguồn uv chuyển UVB khả hấp thụ ozon lớn Bước sóng phát thay đổi lớn nhạy 254nm *Ưu điểm hệ đo Giá thành hệ đo thấp máy đo chuẩn nhiều nên sau kiểm định mức độ an toàn cho hệ đo sản xuất sử dụng Khi đo đạc hệ đo lưu lại giá trị đo độ thị giúp người sử dụng không cần phải ghi chép thời gian chừng hệ đo, cần cấp nguồn, thao tác chỉnh zero cho máy chạy Hệ đo tích hợp thêm nhiều loại cảm biến để đo hiển thị thêm thông số môi trường khác như: độ ẩm, tiếng ồn, khói bụi….giúp cho việc đo đạc nhanh giảm thời gian đo, tiết kiệm chi phí đo đạc chi phí mua nhiều loại máy đo khác Ngoài ra, hệ đo tích hợp chức cài đặt báo động ngắt nguồn thiết bị khác với ngõ relay mức ozon vượt mức cài đặt * Khyết điểm hướng khắc phục Giá trị hệ đo sử dụng UVLED chưa xác chưa thật ổn định hệ sử dụng UVLED công suất thấp, để khắc phục điều tác giả bố trí thêm thay loại UVLED có công suất cao vào buồng đo để tăng tính ổn định cho hệ thí nghiệm Thời gian đáp ứng để có số liệu hệ đo tương đối chậm nhiên đo thông số môi trường thời gian 15-20’ chấp nhận Để lấy số liệu cần dùng máy tính qua cổng COM đôi lúc bất tiện, để khắc phục tác giả thêm module bluetooth cổng Wifi để máy đo truyền nhận liệu qua Internet tiện dụng cho việc đo đạc sử dụng thẻ nhớ để lưu trữ liệu máy GHI NHẬN VÀ CẢM ƠN Nghiên cứu thực phần từ kinh phí chương trình nghiên cứu Tp.HCM (86/HĐ-SKHCN) dự án hoàn thiện công nghệ chế tạo chipled cực tím (Bộ KH&CN 2014-2016) thực Trung tâm NCTK- Khu CNC Tp.HCM PTN MEMS, Trường Đại học Khoa học tự nhiên (ĐHQG Tp.HCM) Nhóm nghiên cứu xin cảm ơn đồng nghiệp, giáo sư Đại học Ritsumeikan (Nhật bản) PTN công nghệ bán dẫn (Trung tâm NCTK- Khu CNC Tp.HCM ), Công ty Quang lượng tử Việt-Mỹ (UVP), Bộ môn Điện tử ứng dụng Viện Vật lý TP.HCM, Viện vật lý TP.HCM, Phân viện bảo hộ lao động bảo vệ môi trường miền Nam cộng tác nghiên cứu, chia sẻ thông tin, cho sử dụng thiết bị đo đạc, phân tích kết quả,…Cảm ơn nhóm nghiên cứu Bm VLĐT (Trường Đại học KHTN-ĐHQG Tp.HCM) cộng tác hiệu thiết bị điện tử tư vấn ISBN: 978-604-82-1375-6 304 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM kỹ thuật Trân trọng gửi đến giáo sư phản biện đóng góp ý kiến hữu ích nhằm hoàn chỉnh báo cáo STUDY AND DESIGN THE EQUIPMENT WITH ULTRAVIOLET RADIATION TO MEASURE OZONE CONCENTRATION ABSTRACT The electronic equipment and using ultraviolet sensors was designed and manufactured to measure the concentration of ozone in the air This new technique is based on the characteristics of decomposition of ozone into oxygen that ultraviolet applications in the fabrication of devices measuring air parameters for environmental surveys The research team used kinds of ultraviolet radiation (lamp and uvled) to identify and decompose ozone Measure ozone concentration systems are built based on the specialized electronic components and pump-aspirated closed tube to measure ozone concentrations in proportion ppm In this work, the initial results of the measurements of ozone concentration will be reported This study was cooperation with the research group in Japan and and calibration results on devices with ppm level After completing the technology, this equipment will be used to examine the concentration of ozone from ozone generator, ozone systems in the areas of food safety and green technology to be able to control ozone concentration and in limited doses allow safe Keywords: ultraviolet radiation, UVLED, ozone concentration, environmental parameters TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Dư Quang Bình (2000), Đo lường điện tử, Giáo trình môn học môn điện tử- Khoa Điện tử Viễn Thông, Đà Nẵng [2] Vũ Thế Đảng (2010), Nghiên cứu chế tạo thiết bị khử vi khuẩn sử dụng led cực tím, Luận văn thạc sĩ chuyên nhành Kỹ thuật điện tử Trường Đại học Sư Phạm Kỹ Thuật TP.HCM, HCM [3] KS.Đỗ Mạnh Hà (2010), Cơ sở đo lường điện tử, Bài giảng môn học sở đo lường điện tử, Học viện công nghệ Bưu Chính Viễn Thông [4] Nguyen Van Hieu, Journal of Emerging Trends in Engineering and applied sciences, Vol2, No.5, p576580 (UK) (Oct., 2011) [5] Nguyen Van Hieu, Huynh Hoang Trung, The study of doping concentration in ALYGA1-YN block layer based on Multi Quantum Well of 313nm LED, Journal of Emerging Trends in Engineering and applied sciences, Vol2, No.6, p1054-1058 (UK) (Dec., 2011) [6] Nguyen Van Hieu, Vu The Dang, Nghiên cứu đèn uvled xạ 365nm khử vi khuẩn, Journal of Technical Education Science (ISSN: 1859-1272), Vol.18 (2011), 46-52 [7] Nguyen Huu Trung,Vu The Dang and Nguyen Van Hieu, The study of shape of electrodes and I-V characteristics for Ultraviolet LED, Journal of IKEEE.Vol.17,No.3,221-228 (Jul,2013) (ISSN: 12267244 ,Print) [8] Atabek O., Bougeois M T., Jacon M., (1986), “Three-demensional analytical model for the photodissoation of symmetric triatomics & Absorption and flourescence spectra of ozon”, Journal Chemistry, pp 84-105 [9] Baba S., Satoh S., Yamabe C (2002), “Development of measurement equipment of half life of ozon”, Vacuum, 65 ,pp.489-495 [10] Bader H., Hoigné J (1982), “Determination of ozon in Water by the Indigo Method: A Submitted Standard Method”, ozon: Science and Engineering, , pp.169-175 [11] Cullen P J.(2009) , “Modelling approaches to ozon processing of liquid foods”, Trends in Food Science and Technology, 20 (2009), p.125-136 [12] Daumont D., Brion J., Charbonnier, Malicet J (1992), “ozon UV Spectrocopy I : Absorption CrossSections at Room Temperature”, Journal of Atmospheric Chemistry 15, pp.145-155 [13] DeMore W.B., Potapoff M (1976), “Comparisons of ozon Determinations by Ultraviolet Photometry abd Gas-Phase Titration”, Environmental Science and Technology, 10 , pp.897-899 [14] Degner M., Damaschke N., Ewald H., O’Keeffe S., Lewis E (2009), “UV LED-based Fiber Coupled Optical Sensor for Detection of ozon in the ppm and ppb Range”, IEEE SENSORS 2009 Conference, EISBN 978-1-4244-5335-1, Christchurch [15] Degner M., Ewald H., Bramann G., Lochmann S (2006), "Fibre-coupled optical sensor for online detection of harmful diesel combustion gases in the UV-VIS region", OPTO 2006 Conference, ISBN 39810993-0-3, Germany ISBN: 978-604-82-1375-6 305 Báo cáo toàn văn Kỷ yếu hội nghị khoa học lần IX Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM [16] Degner M., Ewald H (2006) Low cost sensor for online detection of harmful diesel combustion gases in UV-VIS region”, Photonics in the Auomobile II, ISBN 0-8194-6254-3, France [17] FreeScale Sermiconductor (2005), “Media Resistant and High Temperature Accuracy Integrated Silicon Pressure Sensor for Measuring Absolute Pressure,On-Chip Signal Conditioned,Temperature Compensatedand Calibrated”, Datasheet, USA [18] Griggs M.(1968), “Absorption coefficients of ozon in the ultraviolet and visible regions”, J Chem Phys 49, pp.857-859 [19] Hudgens E.E., KleindienstT.E., MeElroy F.F., and Ollison W.M (1994), “A Study of Interferences in ozon UV and Chmiluminescence Monitors, Measurement of Toxic and Related Air Pollutants”, Air Waste Manage Assoc., pp.405 [20] Johannes Orphal, Kelly Chance (2003), “Ultraviolet and visible absorption cross-sections for HITRAN”, Journal of Quantitative Spectroscopy &Radiative Transfer,pp 491–504 [21] Johnson T V (2004), “Diesel Emission Control Technology – 2003 in Review”, SAE TECHNICAL PAPER SERIES, 2004-01-0070 [22] KleindienstT.E ,Hudgens E.E., Smith D.F., McElroy F.F., and Bufalini J.J (1993), “Comparison of chemiluminescence and ultraviolet ozon monitor responses in the presence of humidity and photochemical pollutants”, Air & Waste, pp 213-222 [23] Loboda O.A., Goncharuk V.V (2009), “Theoretical Research into Interaction of Water Clusters with ozon”, Journal of Water Chemistry and Technology, Vol 31, No 4,pp 213-219 [24] Meyer C.P., Elsworth C.M., and Galbally I.E (1991), “Water vapor interference in the measurementof ozon in ambient air by ultraviolet absorption”, Review of Scientific Instruments, 62(1),pp.223-228 [25] Molina L.T., Molina M.J (1986), “Absolute absorption cross-sections of ozon in the 185-350nm wavelength range”, Journal Geophys Res 91, 14501 [26] Malicet J., Daumont D., Charbonnier J., Parisse C., Chakir A., Brion J (1995), “ozon UV Spectroscopy II: Absorption Cross-Sections and Temperature Dependence”, Journal of Atmospheric Chemistry 21: pp.263-273 [27] Majewski Jacek (2012), “Methods for measuring ozon concentration in ozon-treated water”, Przeglad Elektrotechniczny(Electrical Review), ISSN 0033-2097, R 88 NR 9b [28] Sholupov S., Pogarev S., Ryzhov V., Mashyanov N., and Stroganov A (2004), “Zeeman Atomic Absorption Spectrometer RA-915+for Direct Determination of Mercury in Air and Complex Matrix Samples”, Fuel Process Technol.85,pp 473-485 [29] http://www.ozonesolutions.com ISBN: 978-604-82-1375-6 306