Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 6 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC o0o BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP BỘ Tên đề tài: NGHIÊN CỨU ỨNG DỤNG NGUỒN BƠM QUANG HỌC BẰNG LASER BÁN DẪN CÔNG SUẤT CAO CHO LASER RẮN Mã số: B2008-TN08-05 Chủ nhiệm Đề tài: ThS. Nguyễn Văn Hảo Thái Nguyên - 2010 Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 7 MỞ ĐẦU 1958, . . , laser rắn với môi trường laser được pha tạp các ion Nd 3+ , Cr 3+ ,… chiếm một tỉ phần lớn - là một nguồn kích thích quang học quan trọng đã và đang được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm quang học và quang phổ. Hiện nay, các laser rắn này vẫn chủ yếu được bơm bằng đèn flash với hiệu suất chuyển đổi năng lượng khá thấp chỉ khoảng 1 ÷ 2%. Nguyên nhân làm hiệu suất chuyển đổi năng lượng laser thấp đó là do đèn flash có phổ phát xạ phân bố rộng trong khi đó tinh thể Neodium (Chromium) chỉ có thể hấp thụ trong một dải phổ hấp thụ hẹp (2 3 nm). Năng lượng của đèn bơm bị mất mát chủ yếu dưới dạng nhiệt, vì vậy các laser này đòi hỏi phải có các hệ thống làm mát phức tạp dẫn đến cấu hình laser cồng kềnh. Các nghiên cứu nhằm nâng cao hiệu suất chuyển đổi năng lượng trong laser Neodium (Chromium) cũng như các phương pháp nhằm cải tiến đèn flash đều không mang lại hiệu quả. Ngày nay, nhờ sự phát triển của công nghệ laser bán dẫn, công suất phát của laser bán dẫn có thể đạt tới hàng chục oát (W) với phổ phát xạ tập trung trong một khoảng phổ hẹp (2 3 nm) phù hợp với phổ hấp thụ của các tinh thể laser. Do vậy, ngay lập tức phương pháp bơm quang học bằng laser bán dẫn để bơm cho laser rắn đã được phát triển mạnh mẽ. Với phương pháp này hiệu suất chuyển đổi năng lượng laser được nâng lên đáng kể đồng thời cấu hình laser cũng được thu gọn hơn. Với các cấu hình bơm khác nhau, hiệu suất chuyển đổi năng lượng laser khi bơm bằng laser bán dẫn có thể đạt từ 10 ÷ 80%. Ngoài ra, việc bơm bằng laser bán dẫn cũng hạn chế được những nhược điểm cố hữu của phương pháp bơm bằng đèn flash như: hiệu ứng thấu Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 8 kính nhiệt trong thanh hoạt chất gây ra sự phát laser không ổn định, tăng độ phân kỳ của chùm tia và sự hấp thụ ở vùng tử ngoại làm phá huỷ thanh hoạt chất… Chính những ưu điểm của phương pháp bơm bằng laser bán dẫn mà hiện nay xu hướng sử dụng nguồn laser bán dẫn để làm nguồn bơm cho các laser rắn đang được phát triển rất mạnh. Trong các phòng thí nghiệm quang học và quang phổ ở nước ta hiện nay (Các Trường Đại học, các Viện nghiên cứu, Trung tâm Kỹ thuật Quân sự, Bệnh viện, …) nhu cầu sử dụng laser Neodium trong nghiên cứu khoa học là rất lớn. Tuy nhiên, các laser Neodium (Chromium) chủ yếu được bơm bằng đèn flash và phải mua từ nước ngoài với giá thành khá cao (30.000 100.000 U$D) nên chỉ có một số ít các phòng thí nghiệm được trang bị các nguồn laser này. Vì vậy, việc tiến hành nghiên cứu và ứng dụng các laser bán dẫn để xây dựng một hệ laser rắn Neodium (Chromium) là một việc hết sức có ý nghĩa về khoa học và công nghệ, đào tạo cũng như ứng dụng thực tiễn. Hơn nữa, đây sẽ là cơ sở để phát triển vật lý và công nghệ của các nguồn laser rắn phát xung ngắn được bơm bằng laser bán dẫn - đang được đòi hỏi ngày càng cao trong ứng dụng, nghiên cứu và đào tạo hiện nay. Cùng với sự phát triển của công nghệ laser bán dẫn, chúng tôi thấy rằng hoàn toàn có thể xây dựng một hệ laser rắn xung ngắn bơm bằng laser bán dẫn tại Việt Nam. Với tầm quan trọng và ý nghĩa về khoa học công nghệ, đào tạo, đề tài này được thực hiện với tiêu đề: “Nghiên cứu ứng dụng nguồn bơm quang học bằng laser bán dẫn công suất cao cho laser rắn”. Mục đích của đề tài: Nghiên cứu, phân tích các môi trường laser rắn thông dụng bơm bằng laser bán dẫn. Nghiên cứu xây dựng một hệ laser rắn phát liên tục và phát xung ngắn, được bơm bằng laser bán dẫn. Đối tượng nghiên cứu: Với mục tiêu nghiên cứu và phát triển một hệ laser rắn bơm bằng laser diode, các đối tượng sau sẽ lần lượt được nghiên cứu: Các môi trường laser rắn đặc biệt là môi trường laser Neodium. Các đặc trưng hoạt động của hệ laser rắn Neodium được bơm bằng laser bán dẫn. Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 9 Cách tiếp cận, phƣơng pháp nghiên cứu và phạm vi nghiên cứu: Đề tài này có nội dung vật lý quang tử và laser mới và bắt đầu được nghiên cứu Việt Nam trong một vài năm gần đây. Do vậy, cách tiếp cận và phương pháp nghiên cứu có đặc điểm sau:  Tiếp thu đầy đủ, có hệ thống các thông tin về những kết quả KH-CN của các vấn đề vật lý liên quan.  Tiến hành thu thập các nguồn cung cấp linh kiện, vật tư và thiết bị (có khả năng cạnh tranh) và phù hợp với các điều kiện nghiên cứu và khai thác ở Việt Nam trong công nghệ và ứng dụng laser bán dẫn này.  Phương pháp nghiên cứu là vật lý thực nghiệm. - Khảo sát các đặc tính, thông số hoạt động: đặc trưng công suất, phổ của laser bán dẫn công suất cao theo dòng bơm và nhiệt độ. - Thiết kế và xây dựng hệ laser Neodium phát liên tục và xung ngắn khi bơm bằng laser bán dẫn công suất cao. - Nghiên cứu sự hoạt động của laser Neodium khi bơm bằng laser bán dẫn này. Nội dung của đề tài là tiến hành nghiên cứu, thiết kế và lắp ráp một hệ laser rắn Neodium được bơm bằng laser bán dẫn, đồng thời nghiên cứu các đặc trưng hoạt động của hệ thống laser này. Đề tài được chia làm 3 chương chính như sau: Chương 1: Môi trƣờng laser rắn đƣợc bơm bằng laser bán dẫn. Trong chương này, chúng tôi trình bày các tính chất của các môi trường laser rắn phổ biến được bơm bằng laser bán dẫn. Tập trung phân tích các đặc điểm của môi trường laser Neodium và nguyên lý hoạt động của hệ laser bốn mức năng lượng. Chương 2: Các cơ chế bơm cho laser rắn và các chế độ hoạt động của nó. Trong chương này, chúng tôi trình bày các cơ chế bơm cho các laser nói chung và laser rắn nói riêng. Đặc biệt là cơ chế bơm cho laser rắn bằng laser bán dẫn theo cấu hình bơm dọc. Với cấu hình này laser cho hiệu suất cao hơn so với các cấu hình khác. Ngoài ra, trong chương này chúng tôi cũng giới thiệu một vài chế độ hoạt động của laser rắn. Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 10 Chương 3: Các kết quả và thảo luận Trong chương này, chúng tôi trình bày các kết quả khảo sát nguồn bơm laser bán dẫn, nghiên cứu lắp ráp hệ laser rắn phát liên tục công suất cao và phát xung ngắn (nano giây) được bơm bằng laser bán dẫn. Đề tài được thực hiện tại Bộ môn Vật lý, trường Đại học Khoa học và Phòng Quang tử Phân tử - Trung tâm Điện tử học lượng tử, Viện Vật lý - Viện Khoa học và Công nghệ Việt Nam. Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 11 Chƣơng 1 MÔI TRƢỜNG LASER RẮN BƠM BẰNG LASER BÁN DẪN Các laser rắn đã và đang được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm về vật lý, hóa học, sinh học Trước đây, hầu hết các laser rắn được bơm bằng đèn phóng điện như: đèn flash, đèn xenon, đèn krypton Gần đây, nhờ sự phát triển trong công nghệ chế tạo laser bán dẫn cho phép chế tạo các laser bán dẫn công suất cao (tới hàng chục W), phổ phát xạ trong một vùng hẹp (cỡ 2 3 nm) rất phù hợp với phổ hấp thụ của một số môi trường laser rắn, vì vậy, kỹ thuật bơm quang học cho các laser rắn bằng laser bán dẫn đã và đang được phát triển rất mạnh. Các môi trường laser rắn phổ biến có thể bơm bằng laser bán dẫn như: các ion Nd 3+ pha trong các nền quang học (YAG, YLF, YVO 4 , glass ), các ion đất hiếm pha trong các nền quang học (Er: YLF, Tm: YAG, Yb: YAG ) và Cr 3+ : LiSAF, Cr 3+ : LiCAF Dưới đây chúng ta sẽ đi xét cụ thể một số tính chất quang của một vài môi trường laser rắn điển hình. 1.1. Môi trƣờng laser Neodium. Môi trường laser Neodium là môi trường laser được sử dụng khá phổ biến hiện nay. Môi trường nền chủ yếu thường là tinh thể Y 3 Al 5 O 12 (gọi tắt là YAG), trong đó các ion Y 3+ được thay thế bởi các ion Nd 3+ . Bên cạnh đó, một số môi trường nền khác cũng thường được sử dụng như: một số loại muối flouride (ví dụ: YLiF 4 - viết tắt YLF), vanadate (YVO 4 ), và một số loại muối phốt phát hoặc thủy tinh silicate… Nồng độ pha tạp ion Nd 3+ trong tinh thể thông thường cỡ 1%. Nếu nồng độ pha tạp cao hơn có thể dẫn đến hiện tượng dập tắt huỳnh quang hoặc gây biến dạng cấu trúc tinh thể. Các thông số quang học chính của một số môi trường laser Neodium được trình bày trong bảng 1.1: Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 12 Bảng 1.1: Các thông số của một số môi trường laser Neodium [19 p.372]. trong đó: N t là mật độ của ion Neodium; là thời gian sống huỳnh quang; 0 là độ rộng phổ laser; e là tiết diện phát xạ cưỡng bức. Các laser Neodium hoạt động trên nguyên lý laser 4 mức năng lượng, các chuyển dịch quang học cho bức xạ laser là các chuyển dịch giữa các mức năng lượng của ion Nd 3+ . Tùy theo việc pha tạp vào các nền quang học khác nhau mà các mức năng lượng tham gia quá trình laser bị suy biến, vì vậy chúng ta thấy rằng trong các môi trường YAG và YVO 4 chuyển dịch quang học có xác suất lớn nhất ứng với bước sóng 1064 nm và trong các môi trường YLF và thủy tinh chuyển dịch quang học lớn nhất ứng với bước sóng 1053 nm và 1054 nm (bảng 1.1). 1.1.1. Môi trƣờng laser Nd:YAG Hình 1.1: Cấu trúc mức năng lượng của môi trường laser Nd:YAG [7 p.5] . Nd: YAG = 1064 nm Nd: YVO 4 = 1064 nm Nd: YLF = 1053 nm Nd: glass = 1054 nm Nồng độ pha tạp ion Nd (atom %) 1 1 1 3,8 N t (10 20 ion/cm 3 ) 1,38 1,5 1,3 3,2 ( s) 230 98 450 300 o (cm -1 ) 4,5 11,3 13 180 e (10 -19 cm 2 ) 2,8 7,6 1,9 0,4 Chiết suất n = 1,82 n 0 = 1,82 n e = 2,168 n 0 = 1,4481 n e = 1,4704 n = 1,54 Dịch chuyển không phát xạ Hấp thụ Phát xạ Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 13 Đây là môi trường laser đang được sử dụng rất rộng rãi hiện nay, cấu trúc năng lượng và chuyển dịch quang học cho bức xạ laser được mô tả trên hình 1.1. Trên hình 1.2 chúng ta thấy rằng phổ hấp thụ của môi trường Nd:YAG có ba vùng hấp thụ mạnh của ion Nd 3+ ở quanh vùng bước sóng 600 nm, 730 nm và 800 nm. Vì vậy, chúng ta có thể sử dụng laser bán dẫn loại AlGaAs phát xạ laser ở vùng bước sóng 808 nm để bơm cho laser Nd:YAG. Hình 1.2: Phổ hấp thụ của môi trường Nd:YAG đo ở nhiệt độ 300 K [19 p.208]. (đường liền nét cho Nd 3+ trong nền YAG; đường đứt nét cho Cr 3+ trong nền Alexandrite. Trục tung bên phải cho Nd 3+ , bên trái cho Cr 3+ ) Trên giản đồ mức năng lượng hình 1.1 chúng ta thấy rằng, laser Nd:YAG hoạt động trên nguyên lý laser 4 mức, các dịch chuyển quang học và quá trình hình thành laser được mô tả như sau: Ở nhiệt độ thấp các nguyên tử tập trung chủ yếu ở mức cơ bản là 4 I 9/2 . Khi chiếu ánh sáng kích thích vào tinh thể Neodium (trên hình 1.1 sử dụng nguồn kích thích là laser diode vùng 808 nm), các nguyên tử được kích thích lên trạng thái kích thích 4 F 5/2 , do thời gian sống của nguyên tử trên mức này rất ngắn ( 10 -15 s) nên chúng hồi phục không phát xạ rất nhanh từ trạng thái 4 F 5/2 về trạng thái 4 F 3/2 – đây là mức laser trên, thời gian sống của nguyên tử trên trạng thái này với ion Neodium cỡ ( 10 -7 s), vì vậy đây còn gọi là trạng thái siêu bền. Nghịch đảo độ tích luỹ được tạo ra giữa mức laser trên 4 F 3/2 và các mức laser dưới là 4 I 13/2 , 4 I 11/2 , 4 I 9/2 . Sự dịch chuyển cho phát xạ laser xảy ra từ mức laser trên 4 F 3/2 tới mức laser dưới 4 I 13/2 , 4 I 11/2 , 4 I 9/2 [19 p.371]. Các dịch chuyển quang học có thể và xác suất của các dịch chuyển tương ứng cho trên bảng 1.2: Tiết diện hấp thụ (10 -20 cm 2 ) Bước sóng (nm) Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 14 Bảng 1.2: Các dịch chuyển quang học của ion Nd 3+ và xác suất tương ứng [7 p.4]. Chúng ta thấy rằng, xác suất dịch chuyển cao nhất từ mức laser trên 4 F 3/2 về mức laser dưới 4 I 11/2 khoảng 60% và bước sóng trung tâm là 1064 nm. Vì vậy, các laser Nd:YAG chủ yếu được chế tạo để cho phát xạ laser ở bước sóng này. Phổ phát xạ huỳnh quang của Nd:YAG được biểu diễn trên hình 1.3: Hình 1.3: Phổ phát xạ huỳnh quang của Nd:YAG thu ở 300 0 K [7 p.7]. Với thời gian sống của ion Nd 3+ ở mức laser trên ( 230 s) rất thích hợp cho việc phát các xung Q-switch. Trên bảng 1.1, độ rộng phổ laser = 4,5 cm -1 tại bước Bước sóng (Å) Cường độ (a.u) Số hóa bởi Trung tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 15 sóng 1064 nm đo ở nhiệt độ 300 0 K, có nghĩa rằng khả năng phát xung ngắn thu được ở chế độ hoạt động mode-locking có thể đạt tới độ rộng xung laser là 5 ps [19 p.371]. 1.1.2. Môi trƣờng laser laser Nd:YVO 4 Hình 1.4: Phổ truyền qua của môi trường Nd:YVO 4 đo ở nhiệt độ 300 K [13]. Môi trường laser Nd:YVO 4 là môi trường laser đang được phát triển rất mạnh trong những năm gần đây [11], [15]. Sở dĩ môi trường Nd:YVO 4 được sử dụng rộng rãi là vì nó có những đặc điểm nổi bật như: độ dẫn nhiệt rất cao cho phép tiêu tán nhiệt xuất hiện trong quá trình bơm quang học, độ bền cơ học cao và có thể nuôi tinh thể khổ lớn với các đặc tính quang học rất tốt. Mật độ của pha tạp các ion Nd 3+ vào khoảng 0,5 ÷ 2 %. Phổ truyền qua của ion Neodium trải dài từ vùng nhìn thấy cho tới vùng hồng ngoại như trên hình 1.4. Hình 1.5: Các dịch chuyển quang học của ion Nd 3+ trong nền YVO 4 [19 p.370]. 4 I 9/2 4 I 11/2 4 F 3/2 4 F 5/2 4 F 7/2 2,526 cm -1 2,001 cm -1 11,414 cm -1 11,502 cm -1 0,8 m 0,7 m 1,06 m = 2.10 3 cm -1 a: Nồng độ pha tạp Nd 3+ 0,5% trong nền YVO 4 (độ dày mẫu: 1mm) b: Nồng độ pha tạp Nd 3+ 3% trong nền YVO 4 (độ dày mẫu: 1mm) [...]... trưng phổ của laser bán dẫn, chúng ta thấy rằng phổ phát xạ của laser bán dẫn phụ thuộc rất mạnh vào nhiệt độ và dòng bơm Vì vậy, để đạt được hiệu quả bơm quang học bằng laser bán dẫn tốt nhất chúng ta cần ổn định cao về nhiệt độ hoạt động cho laser bán dẫn 3.2 Nghiên cứu, thiết kế và xây dựng hệ laser rắn Nd :YVO4 phát liên tục, công suất cao đƣợc bơm bằng laser bán dẫn 3.2.1 Nghiên cứu, thiết kế... công suất nhỏ, có bước sóng trùng với phổ hấp thụ của hoạt chất làm nguồn bơm cho laser rắn là một trong những phát triển của công nghệ laser rắn Các laser bán dẫn được sử dụng nhiều nhất cho laser rắn là các laser có bước sóng nằm trong khoảng từ 800 nm đến 900 nm Với việc sử dụng nguồn bơm kết hợp, hiệu suất laser có thể nâng lên đến 80 % [5] Ngoài ra, nếu sử dụng laser bán dẫn để bơm cho laser rắn. .. tâm Học liệu - ĐHTN http://www.lrc-tnu.edu.vn/ 27 có thể cho các xung ra ngắn hơn các laser bơm bằng đèn chớp do chiều dài buồng cộng hưởng của chúng ngắn hơn 2.3 Cơ chế bơm cho laser rắn bằng laser bán dẫn 2.3.1 Nguồn bơm bằng laser bán dẫn Chúng ta nhận thấy rằng: sử dụng laser bán dẫn để bơm cho laser không những có hiệu suất laser cao mà còn phát ở bất kì tần số nào, phụ thuộc vào tần số của laser. .. Hay có thể là nguồn sáng kết hợp như các laser (trong trường hợp này, laser được bơm có thể coi như một bộ khuếch đại hay biến đổi tần số quang học) Hiện nay, phương pháp bơm quang học bằng laser bán dẫn cho các laser rắn đang được sử dụng rộng rãi Ví dụ, laser Nd3+: YVO4 có thể được bơm bằng các laser bán dẫn ở bước sóng 808 nm Laser Cr3+: LiSAF có thể được bơm bằng các laser bán dẫn ở bước sóng... các nguồn quang học có phổ trùng với phổ hấp thụ của hoạt chất laser rắn Phát triển cùng với công nghệ chế tạo laser rắn là công nghệ chế tạo laser bán dẫn Laser bán dẫn có nguồn ánh sáng kết hợp, đặc biệt có phổ phát xạ rất hẹp và có thể thay đổi được trong vùng phổ rộng Hiện nay, các laser bán dẫn đã được chế tạo với công suất lớn, kích thước nhỏ Sử dụng laser bán dẫn có công suất lớn, hoặc nhiều laser. .. laser hoạt động, chúng ta cần bơm năng lượng cho môi trường hoạt chất Có rất nhiều phương pháp bơm năng lượng cho môi trường hoạt chất: Bơm quang học, bơm điện, bơm hoá học, bơm nhiệt, Nhưng chủ yếu vẫn là hai phương pháp bơm sau: bơm quang học và bơm điện 2.1.1 Bơm quang học Bơm quang học là dùng một nguồn sáng khác có bước sóng thích hợp chiếu vào môi trường hoạt chất Nguồn sáng đó có thể ở dạng liên... kích thích chỉ mức đơn Hơn nữa, bơm bằng laser cho phép kết cấu laser gọn, ngưỡng bơm thấp và hiệu suất laser cao [4] Chúng ta sẽ xét cụ thể cơ chế bơm quang học bằng laser bán dẫn cho laser rắn ở phần 2.2 của báo cáo này 2.1.2 Bơm điện Bơm điện là cho phóng điện qua môi trường hoạt chất (thường dùng khi môi trường hoạt chất là chất khí ở trạng thái dẫn điện – ion hoá) hoặc cho dòng điện chạy qua môi trường... laser bán dẫn [9] Tần số của laser bán dẫn (hay bước sóng bơm cho laser rắn) thay đổi phụ thuộc vào một số yếu tố như nhiệt độ, dòng bơm, Vì vậy, việc tìm hiểu sự phụ thuộc của bước sóng phát của laser bán dẫn vào các yếu tố đó là cần thiết và quan trọng 2.3.2 Cấu hình bơm Hiện nay có hai phương pháp sử dụng diode để bơm cho các hoạt chất laser rắn Đó là cấu hình bơm ngang và bơm dọc * Cấu hình bơm. .. hơn và cho công suất laser cao hơn 1.1.3 Môi trƣờng laser Nd:glass Đây cũng là một môi trường laser được sử dụng khá rộng rãi đặc biệt trong chế tạo, khuếch đại laser công suất cao và trong các thí nghiệm sử dụng các kỹ thuật bốc bay bằng laser Các dịch chuyển quang học của ion Nd3+ trong nền thủy tinh cũng tương tự như các dịch chuyển quang học của ion Nd3+ trong nền YAG, dịch chuyển quang học cho bức... diode mà nhà sản xuất đưa ra Các nội dung nghiên cứu là: o Đặc trưng công suất laser bán dẫn o Phổ của laser bán dẫn (đặc biệt, sự thay đổi của phổ laser bán dẫn vào nhiệt độ và thay đổi của phổ laser bán dẫn vào cường độ bơm) Để khảo sát các đặc trưng của đầu laser bán dẫn, cấu hình hệ thí nghiệm được xây dựng như trên hình 3.3: (6) (4) (2) (9) (5) (1) Máy quang phổ DFS - 8 (3) (7) (8) Hình 3.3: Sơ . Nghiên cứu ứng dụng nguồn bơm quang học bằng laser bán dẫn công suất cao cho laser rắn . Mục đích của đề tài: Nghiên cứu, phân tích các môi trường laser rắn thông dụng bơm bằng laser bán dẫn. . trường laser rắn, vì vậy, kỹ thuật bơm quang học cho các laser rắn bằng laser bán dẫn đã và đang được phát triển rất mạnh. Các môi trường laser rắn phổ biến có thể bơm bằng laser bán dẫn như:. KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP BỘ Tên đề tài: NGHIÊN CỨU ỨNG DỤNG NGUỒN BƠM QUANG HỌC BẰNG LASER BÁN DẪN CÔNG SUẤT CAO CHO LASER RẮN Mã số: B2008-TN08-05 Chủ nhiệm Đề tài: