. sử dụng cảm biến SiNW FET trong phát hiện CTC trong mẫu máu thực sau. Nội dung đề tài gồm hai phần chính. [1] Chế tạo chíp cảm biến dựa trên cấu trúc SiNW FET; [2] Ứng dụng ban đầu trong phát. TÍNH CHẤT CẢM BIẾN SAU KHI CHẾ TẠO 34 3.1 TÍNH CHẤT HÌNH THÁI 34 3.2 TÍNH CHẤT ĐIỆN: 35 iv CHƢƠNG 4: ỨNG DỤNG BAN ĐẦU CỦA SiNW FET TRONG PHÁT HIỆN TẾ BÀO LƢU CHUYỂN CỦA UNG THƢ VÚ 41 4.1. có 8 transistor, mỗi bên có 4 transistor, bao gồm các loại chứa 8 sợi, 4 sợi, 2 sợi và 1 sợi Silic. (b) Transistor có 8 sợi, (c) Transistor có 4 sợi Silic, (d) Transistor có 2 sợi Silic, và (e)