Ứng dụng Sensor gia tốc Mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung

113 2.6K 6
Ứng dụng Sensor gia tốc Mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • Danh sách bảng biểu

  • 1.1 Giới thiệu về MEMS

  • 1.2 Công nghệ chế tạo MEMS

  • 1.2.1 Công nghệ vi cơ khối

  • 1.2.2 Công nghệ vi cơ bề mặt

  • 1.2.3 Công nghệ LIGA

  • 1.3 Sensor gia tốc MEMS

  • 1.3.1 Sensor

  • 1.3.2 Sensor gia tốc

  • 1.3.3 Một số loại sensor gia tốc

  • 1.3.4 Ba loại sensor gia tốc trên thị trường

  • 1.4 Tóm tắt

  • 2.1 Giới thiệu

  • 2.2 Phân loại robot

  • 2.3 Các thành phần cơ bản của tay máy robot

  • 2.3.1 Bộ thao tác (Manipulator)

  • 2.3.2 Bộ chấp hành cuối cùng (end - effector)

  • 2.3.3 Nguồn nuôi

  • 2.3.4 Bộ điều khiển

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan