Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

110 443 0
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

. suất Áp suất có thể được đo trong mối liên hệ với áp suất chân không, áp suất khí quyển hoặc với một áp suất khác. Áp suất tuyệt đổi: được đo so với áp suất chân không lý tưởng. Một ví dụ là đo. đo áp suất khí quyển. Áp suất vi sai đo sự sai khác về áp suất giữa 2 điểm của phép đo. Thiết kế của các cảm biến đo áp suất vi sai thường phức tạp hom vì đòi hỏi hai áp suất phải được áp đồng. do đó một phần của áp suất phải được làm thông tới áp suất môi trường. Đo huyết áp là một ví dụ của kiểu đo này. Hỉnh 1-7: Cùng một cảm biến có thể được sử dụng cho 3 loại phép đo áp suất chỉ

Ngày đăng: 25/03/2015, 11:45

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT

  • DANH MỤC CÁC BẢNG

  • DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ

  • MỞ ĐẦU

  • Chương 1 ÁP SUẤT VÀ ĐO ÁP SUẤT

  • 1.1 CƠ S Ở VẬT LÝ CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT

  • 1.1.1 Áp suất tĩnh

  • 1.1.2 Áp suất chất lỏng động

  • 1.1.3 Các loại phép đo áp suất

  • 1.1.4 Các đơn vị đo áp suất

  • 1.1.5 Sự cảm nhận áp suất

  • 1.1.6 Các hiệu ứng của cảm biến

  • 1.2 CÁC LOẠI CẢM BIẾN ÁP SUẤT

  • 1.2.1 Cảm biến áp suất biến trở

  • 1.2.2 Cảm biến áp suất điện cảm

  • 1.2.3 Các cảm biến áp suất điện dung

  • 1.2.4 Cảm biến áp suất áp đỉện

  • 1.2.5 Bán dẫn tích hợp áp trở

  • 1.3 MỘT SỐ VấN ĐỀ LIÊN QUAN

  • 1.3.1 Giao diện điện

  • 1.3.2 Lụa chọn cảm biến

  • Chương 2 CẢM BIẾN ÁP SUẤT CÔNG NGHỆ MEMS

  • 2.1 TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ MEMS

  • 2.1.1 MEMS là gi?

  • 2.1.2 Các ứng dụng của MEMS

  • 2.1.3 Các công nghệ chế tạo

  • 2.2.1 Màng mỏng vi cơ Silic

  • 2.2.2 Cảm biến áp suất áp trử MEMS

  • Chương 3 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS

  • 3.1 VI ĐIỀU KHIỂN AVR

  • 3.1.1 Giới thiệu

  • 3.1.2 Nhân CPUAVR.

  • 3.1.3 Vi điều khiển ATMega8535

  • 3.2 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỬA MEMS TRONG ĐO LƯỜNG

  • 3.2.1 ứng dụng cảm biến MPX5700 xác định độ chịu lực của bê tông

  • 3.2.2 ứng đụng cảm biến MPXA6115A trong thiết bị đo độ cao

  • 3.2.3 Tích hợp khả năng thông báo kết quả bằng giọng nói cho hệ thổng đo lường

  • KẾT LUẬN

  • DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ

  • TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan