Đang tải... (xem toàn văn)
Ngày đăng: 25/03/2015, 11:45
Xem thêm: Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS, Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS, Chương 1 ÁP SUẤT VÀ ĐO ÁP SUẤT, 1 CƠ S Ở VẬT LÝ CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT, 2 CÁC LOẠI CẢM BIẾN ÁP SUẤT, Chương 2 CẢM BIẾN ÁP SUẤT CÔNG NGHỆ MEMS, 1 TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ MEMS, Chương 3 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS, 2 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỬA MEMS TRONG ĐO LƯỜNG