. vào tìm hiểu mô hình vi cảm biến lực, mô hình vi cảm biến lực đa chiều, cấu trúc thanh dầm cantilever cho vi cảm biến lực đa chiều, cơ sở về hiệu ứng áp trở của vi cảm biến lực áp trở Dựa trên. vi cảm biến tụ, vi cảm biến áp điện, vi cảm biến laser quang, vi cảm biến áp trở . . . Nhìn chung các loại vi cảm biến này đều có ưu và nhược điểm riêng nhưng cảm biến lực áp trở có ưu điểm vượt. lực đa chiều. Phần 1.3 trình bày các tiêu chí thiết kế vi cảm biến. 1.1 Mô hình vi cảm biến lực đa chiều 1.1.1 Mô hình vi cảm biến Cảm biến là thiết bị dùng để biến đổi các đại lượng vật lý và