Đang tải... (xem toàn văn)
Ngày đăng: 25/03/2015, 11:08
Xem thêm: Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN, Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN, 3 Propagation of Acoustic Waves in contact with a Liquid Medium, 4 Equivalent Circuit Model of SAW Devices, 3 FEM Simulation for AlN-based Microfluidic Sensor