Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao

143 521 5
Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

. 78 Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao  Trang8 Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao  Trang1 Chương. tính chất màng chế tạo 42 3.2 .Nghiên cứu chế tạo màng TiO 2 bằng công nghệ phún xạ xung 45 3.4 .Nghiên cứu chế tạo màng SiO 2 bằng công nghệ phún xạ xung 52 Chương 4: Chế tạo các hệ màng. HỌC CÔNG NGHỆ VIỆN ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ BÁO CÁO TỔNG HỢP KẾT QUẢ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ ĐỀ TÀI CẤP BỘ Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao

Ngày đăng: 10/03/2015, 02:51

Từ khóa liên quan

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan