 BỘ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO CHƯƠNG TRÌNH KHCN CẤP NHÀ NƯỚC KC05/06-10 BÁO CÁO TỔNG HỢP KẾT QUẢ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ ĐỀ TÀI “NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ PHỦ PVD ( PHYSICAL VAPOR DEPOSITION) TẠO LỚP PHỦ BỀ MẶT ĐỂ NÂNG CAO CƠ TÍNH KHUÔN MẪU VÀ DỤNG CỤ CẮT GỌT” MÃ SỐ: KC05/06-10  Chủ nhiệm đề tài Cơ quan chủ trì đề tài GS.TS Võ Thạch Sơn Ban chủ nhiệm chương trình Bộ Khoa học và Công nghệ TS. Trần Việt Hùng 8086 Hà Nội - 2010 Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk1 BỘ GIÁO DỤC & ĐÀO TẠO VIỆN VẬT LÝ KỸ THUẬT __________________ CỘNG HOÀ XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập - Tự do - Hạnh phúc Hà nội, ngày 10 tháng 04 năm 2010 BÁO CÁO THỐNG KÊ KẾT QUẢ THỰC HIỆN ĐỀ TÀI KC.05.12/06-10 I. THÔNG TIN CHUNG 1. Tên đề tài/dự án: “Nghiên cứu ứng dụng công nghệ phủ PVD (Physical Vapor Deposition) tạo lớp phủ bề mặt để nâng cao cơ tính khuôn mẫu và dụng cụ cắt gọt” Mã số đề tài: kc.05.12/06-10 Thuộc: Chương trình (tên, mã số chương trình): Nghiên cứu, phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo 2. Chủ nhiệm đề tài: Họ và tên: : Võ Thạch Sơn Ngày, tháng, năm sinh: 15/05/1949 Nam/ Nữ: Nam Học hàm, học vị: GS.TS Chức danh khoa học: Giảng viên cao cấp Chức vụ: Phó Viện trưởng Viện VLKT Điện thoại: Tổ chức: 04 8682539 Nhà riêng: 04 5143654 Mobile: 0904132226 Fax: 04.8693498 E-mail: sonvt@mail.hut.edu.vn Tên tổ chức đang công tác:PTN Phân tích & Đo lường vật lý, Viện Vật lý Kỹ thuật, trường Đại học Bách khoa Hà nội Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk2 Địa chỉ tổ chức:Phòng 110-C9- Đại học Bách khoa Hà nội, Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà nội Địa chỉ nhà riêng: P2101, nhà 34T, khu Trung hòa Nhân chính, Hà nội 3. Tổ chức chủ trì đề tài: Tên tổ chức chủ trì đề tài: Viện Vật lý Kỹ thuật Điện thoại: 0438693350 Fax: 04.8693498 E-mail: Website: iep.hut.edu.vn Địa chỉ: Viện Vật lý kỹ thuật , Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà nội Họ và tên thủ trưởng tổ chức: GS.TS Nguyễn Đức Chiến Số tài khoản: : 931.01.123 Ngân hàng: Kho bạc Nhà nước Hai bà trưng Tên cơ quan chủ quản đề tài: Viện Vật lý Kỹ thuật II. TÌNH HÌNH THỰC HIỆN 1. Thời gian thực hiện đề tài/dự án: - Theo Hợp đồng đã ký kết: từ tháng 03/ năm 2008 đến tháng 02/ năm 2010 - Thực tế thực hiện: từ tháng 03/năm 2008 đến tháng 04/năm 2010 - Được gia hạn (nếu có): Lần 1 từ tháng 03 năm 2010 đến tháng 04 năm 2010 2. Kinh phí và sử dụng kinh phí: a) Tổng số kinh phí thực hiện: 2.800 tr.đ, trong đó: + Kính phí hỗ trợ từ SNKH: 2.800 tr.đ. + Kinh phí từ các nguồ n khác: 0 tr.đ. Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk3 b) Tình hình cấp và sử dụng kinh phí từ nguồn SNKH: Theo kế hoạch Thực tế đạt được Số TT Thời gian (Tháng, năm) Kinh phí (Tr.đ) Thời gian (Tháng, năm) Kinh phí (Tr.đ) Ghi chú (Số đề nghị quyết toán) 1 20/08/2008 980 27/08/2008 320 26/09/2008 132 04/11/2008 211 12/11/2008 37 14/11/2008 65 18/11/2008 21 2 19/12/2008 420 31/12/2008 343 3 18/03/2009 980 13/04/2009 186 14/04/2009 46.4 09/06/2009 301 28/09/2009 84 01/10/2009 384.4 02/10/2009 82 12/10/2009 70 4 04/11/2009 420 55.5 24/11/2009 4.42 26/11/2009 40.58 08/12/2009 91.5 21/12/2009 162.1 30/3/2010 69.084 28/04/2010 17 05/05/2010 5.010 07/05/2010 55.916 Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk4 c) Kết quả sử dụng kinh phí theo các khoản chi: Đối với đề tài: Đơn vị tính: Triệu đồng Theo kế hoạch Thực tế đạt được TT Nội dung các khoản chi Tổng SNKH Nguồn khác Tổng SNKH Nguồn khác 1 Trả công lao động (khoa học, phổ thông) 1122 1122 0 1122 0 2 Nguyên, vật liệu, năng lượng 933 933 0 933 0 3 Thiết bị, máy móc 516 516 0 516 0 4 Xây dựng, sửa chữa nhỏ 0 0 0 0 0 5 Chi khác 229 229 0 229 0 Tổng cộng 2800 2800 2800 0 - Lý do thay đổi (nếu có):Do nhu cầu nguyên liệu của đề tài, một số mục chuyển đổi mục đích sử dụng. 3. Các văn bản hành chính trong quá trình thực hiện đề tài/dự án: (Liệt kê các quyết định, văn bản của cơ quan quản lý từ công đoạn xác định nhiệm vụ, xét chọn, phê duyệt kinh phí, hợp đồng, điều chỉnh (thời gian, nội dung, kinh phí thực hiện nếu có); văn bản của tổ chức chủ trì đề tài, dự án (đơn, kiến nghị điều chỉnh nếu có) TT Số, thời gian ban hành văn bản Tên văn b ản Ghi chú 1 Số 2588/QĐ- BKHCN; Ngày 07/11/2007 Quyết định về việc thành lập hội đồng khoa học và công nghệ cấp Nhà nước tư vấn tuyển chọn tổ chức và cá nhân chủ trì, thực hiện đề tài để thực hiện trong kế hoạch năm thuộc Chương trình “ Nghiên cứu, phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo” 2 Số 3070/QĐ- BKHCN; Ngày 21/12/2007 Quyết định về việc phê duyệt các tổ chức, cá nhân trúng tuyển chủ trì thực hiện đề tài, dự án sản xuất thử nghiệm năm 2008 (đợt II) thuộc Chương trình “ Nghiên cứu, phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo” 3 Số 282/QĐ- BKHCN; Ngày 27/02/2008 Quyết định Phê duyệt kinh phí 06 đề tài và 02 dự án bắt đầu thực hiện năm 2008 thuộc Chương trình Trọng điểm cấp Nhà nước giai đoạn 2006-2010 “ Nghiên cứu, phát triển và ứng dụng công nghệ cơ khí chế tạo” Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk5 4 Số 97/QĐ- BKHCN; Ngày 17/01/2008 Quyết định về việc thành lập Tổ thẩm định đề tài khoa học và công nghệ, dự án sản xuất thử nghiệm cấp Nhà nước năm 2008 5 Số 12/HĐ- DTCT-KC.05/06- 10; Ngày 29/04/2008 Hợp đồng nghiên cứu khoa học và phát triển công nghệ 6 Số 2613/QĐ- ngày 26/11/ Quyết định phê duyệt kế hoạch đấu thầu mua sắm tài sản năm 2008 của đề tài KC.05.12/06-10; 7 Số 476/QĐ- BKHCN ngày 01/04/2009 Quyết định phê duyệt kế hoạch đấu thầu mua sắm tài sản năm 2009 của đề tài KC.05.12/06-10; 8 Số 440/QĐ- BKHCN ngày 30/03/2009 Quyết định về việc cử các đoàn đi công tác nước ngoài 9 Số 63/VPCTT- THKH ngày 10/10/2010 Gia hạn thời gian thực hiện của đề tài KC.05.12/06-10 4. Tổ chức phối hợp thực hiện đề tài, dự án: TT Tên tổ chức đăng ký theo Thuyết minh Tên tổ chức đã tham gia thực hiện Nội dung tham gia chủ yếu Sản phẩm chủ yếu đạt được Ghi chú* 1 Viện vật lý kỹ thuật- Đại học Bách khoa Hà nội Viện vật lý kỹ thuật- Đại học Bách khoa Hà nội Nghiên cứu tạo lớp phủ TiN bằng phương pháp phún xạ DC magnetron. Xác định thành phần hoá học của lớp phủ bằng phương pháp XPS và phương pháp EDX Xác định vi cấu trúc, thành phần pha của lớp phủ bằng phương pháp nhiễu xạ tia X Xác định hình thái bề mặt bằng phương pháp hiển vi lực nguyên tử AFM. Quy trình công nghệ tạo lớp phủ bằng phương pháp phún xạ DC magnetron. Bộ tài liệu kết quả đo thành phần hoá học của lớp phủ bằng phương pháp XPS và phương pháp EDX Bộ tài liệu kết quả đo vi cấu trúc, thành phần pha của lớp phủ bằng phương pháp nhiễu xạ tia X. Bộ tài liệu về hình thái bề mặt bằng phương pháp hiển vi lực nguyên tử AFM. Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk6 2 Trung tâm quang điện tử- Viện ứng dụng công nghệ- Bộ Khoa học và công nghệ Trung tâm quang điện tử- Viện ứng dụng công nghệ- Bộ Khoa học và công nghệ Thiết kế xây dựng thiết bị tạo lớp phủ cứng bằng công nghệ phún xạ cao tần. Thiết kế chế tạo thiết bị thử nghi ệm công nghệ hồ quang chân không. Nghiên cứu tạo lớp phủ TiN, Ti(C, N) bằng công nghệ hồ quang chân không Nghiên cứu tạo lớp phủ nhiều lớp TiC/ Ti(C, N)/TiN bằng công nghệ phún xạ cao tần. 3 Khoa cơ khí- Đại học Bách khoa Hà nội Khoa cơ khí- Đại học Bách khoa Hà nội Đánh giá cơ tính của lớp phủ: độ cứng, độ bám dính, hệ số ma sát, ứng suất. Nghiên cứu ảnh hưởng của các đặc tính cơ lý hoá học của lớp phủ đến độ bền mòn của dụng cụ và khuôn mẫu. Khảo sát cơ tính và độ bền của các lớp phủ trên các dụng cụ cắt và khuôn mẫu thử nghiệm. 4 Viện nghiên cứu cơ khí Viện nghiên cứu cơ khí Khảo sát và thử nghiệm các sản phẩm trong điều kiện công nghiệp - Lý do thay đổi (nếu có): Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk7 5. Cá nhân tham gia thực hiện đề tài, dự án: (Người tham gia thực hiện đề tài thuộc tổ chức chủ trì và cơ quan phối hợp, không quá 10 người kể cả chủ nhiệm) TT Tên cá nhân đăng ký theo Thuyết minh Tên cá nhân đã tham gia thực hiện Nội dung tham gia chính Sản phẩm chủ yếu đạt được Ghi chú* 1 Võ Thạch Sơn GS.TS Võ Thạch Sơn GS.TS Phụ trách chung, khảo sát các thông số vật lý của lớp phủ cứng Tài liệu khảo sát các thông số vật lý của lớp phủ cứng 2 Phan Quốc Phô PGS.TS Phan Quốc Phô PGS.TS Công nghệ lớp phủ cứng bằng phương pháp phún xạ DC magnetron Quy trình công nghệ tạo lớp phủ cứng bằng phương pháp phún xạ DC magnetron 3 Nguyễn Thị Phương Mai TS Nguyễn Thị Phương Mai TS Phụ trách nghiên cứu khảo sát các thông số cơ học của lớp phủ cứng Tài liệu khảo sát các thông số cơ học của lớp phủ cứng 4 Hoàng Vĩnh Sinh TS Hoàng Vĩnh Sinh TS Phụ trách nghiên cứu ứng dụng lớp phủ cứng trên dụng cụ cắt gọt 5 Đặng Xuân Cự TS Đặng Xuân Cự TS Phụ trách nghiên cứu về phương pháp phún xạ cao tần RF và qui trình tạo các lớp phủ đơn lớp Quy trình công nghệ tạo lớp phủ cứng đơn lớp bằng phương pháp phún xạ cao tần RF 6 Phạm Hồng Tuấn TS Phạm Hồng Tuấn TS Phụ trách nghiên cứu về phương pháp hồ quang chân không, qui trình tạo các lớp phủ đa lớp Quy trình công nghệ tạo lớp phủ cứng đơn lớp bằng phương pháp hồ quang chân không Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk8 Phụ trách tài chính của đề tài 7 Nguyễn Hữu Bính Ths Nguyễn Hữu Bính Ths Phụ trách thử nghiệm sản phẩm trong công nghiệp Tài liệu thử nghiệm sản phẩm trong công nghiệp - Lý do thay đổi ( nếu có): 6. Tình hình hợp tác quốc tế: TT Theo kế hoạch (Nội dung, thời gian, kinh phí, địa điểm, tên tổ chức hợp tác, số đoàn, số lượng người tham gia ) Thực tế đạt được (Nội dung, thời gian, kinh phí, địa điểm, tên tổ chức hợp tác, số đoàn, số lượng người tham gia ) Ghi chú* 1 Nội dung: đi tham gia hội thảo và thực tập ngắn hạn tại Thời gian: 2009 Kinh phí: 125.000.000 đồng Địa điểm: Cộng hòa liên bang Đức. Tên tổ chức hợp tác: Đại học TU Chemnitz, công ty VTD Số đoàn: 01 Số lượng người tham gia: 03 Nội dung: Đi tham gia hội thảo và thực tập ngắn hạn. Trao đổi kinh nghiệm, triển khai các nội dung nghiên cứu Thời gian: 2009 Kinh phí: Địa điểm: Cộng hòa liên bang Đức, Cộng hòa Pháp. Tên tổ chức hợp tác: Đại học TU Chemnitz, công ty VTD, Số đoàn: 02 Đoàn 1(01 người) Đoàn 2 (02 người - Lý do thay đổi (nếu có): Do có thư mời hợp tác bên Pháp nên 01 người đi cộng hòa Pháp, nhập đoàn đi cộng hòa Đức. 7. Tình hình tổ chức hội thảo, hội nghị: TT Theo kế hoạch (Nội dung, thời gian, kinh phí, địa điểm ) Thực tế đạt được (Nội dung, thời gian, kinh phí, địa điểm ) Ghi chú* 1 Công nghệ tạo lớp phủ cứng bằng phương pháp hồ quang chân không 2008 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Công nghệ tạo lớp phủ cứng bằng phương pháp hồ quang chân không 2008 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Báo cáo tổng hợp kết quả Đề tài KC.05.12/06-10 * Hà nội 4/2010 tk9 2 Công nghệ phún xạ DC magnetron, phún xạ cao tần và ứng dụng trong chế tạo các lớp phủ cứng 2008 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Công nghệ phún xạ DC magnetron, phún xạ cao tần và ứng dụng trong chế tạo các lớp phủ cứng 2009 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Các phương pháp xác định thành phần của lớp phủ cứng đơn lớp và đa lớp 2009 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Các phương pháp xác định thành phần của lớp phủ cứng đơn lớp và đa lớp 2009 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN 4 Hiện trạng và xu hướng phát triển của công nghệ tạo lớp phủ cứng trên dụng cụ cắt gọt và khuôn mẫu 2009 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN Hiện trạng và xu hướng phát triển của công nghệ tạo lớp phủ cứng trên dụng cụ cắt gọt và khuôn mẫu 2009 5.000.000 Phòng 110-C9- Đại học BKHN - Lý do thay đổi (nếu có): 8. Tóm tắt các nội dung, công việc chủ yếu: (Nêu tại mục 15 của thuyết minh, không bao gồm: Hội thảo khoa học, điều tra khảo sát trong nước và nước ngoài) Thời gian (Bắt đầu, kết thúc - tháng … năm) TT Các nội dung, công việc chủ yếu (Các mốc đánh giá chủ yếu) Theo kế hoạch Thực tế đạt được Người, cơ quan thực hiện 1 Xây dựng hoàn chỉnh thuyết minh đề tài 01-03 /2008 01-03/2008 Võ Thạch Sơn Phạm Hồng Tuấn 2 Báo cáo tổng quan tài liệu đề tài 01-03/2008 01-03/2008 Võ Thạch Sơn Phạm Hồng Tuấn 3 Nội dung 1: Chuẩn bị điều kiện công nghệ tạo lớp phủ bằng phương pháp phún xạ DC magnetron trên thiết bị Edwards và B30. 03-08/2008 03-08/2008 Võ Thạch Sơn Phan Quốc Phô Phạm Hồng Tuấn 3.1 Thiết kế và chế tạo đầu magnetron 03-08/2008 03-08/2008 Võ Thạch Sơn Phan Quốc Phô Phạm Hồng Tuấn [...]... Quốc Phô Nguyễn Tuấn Vũ 8 Nghiên cứu công nghệ tạo lớp 8.1 phủ TiN bằng phún xạ cao tần Nghiên cứu công nghệ tạo lớp 8.2 phủ TiC bằng phún xạ cao tần Nghiên cứu công nghệ tạo lớp tần Nghiên cứu công nghệ tạo lớp 8.4 phủ đa lớp TiC/Ti(C,N)?TiN 9 08-12/2008 Nội dung 7: Xác định thành phần hoá học của lớp phủ 06-12/2008 Nghiên cứu phương pháp xác định thành phần nguyên tố lớp 9.1 phủ TiC/Ti(C,N)/TiN bằng... dung 4: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN bằng công nghệ phún xạ DC magnetron Nội dung 5: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN, Ti(C,N) bằng công nghệ hồ quang chân không Nội dung 6: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ nhiều lớp TiC/Ti(C,N)/TiN bằng công nghệ phún xạ cao tần Nội dung 7: Xác định thành phần hoá học của lớp phủ 2 Nội dung 8: Xác định vi cấu trúc, thành phần pha của lớp phủ bằng... 4: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN bằng công nghệ phún xạ DC magnetron Nội dung 5: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ TiN, Ti(C,N) bằng công nghệ hồ quang chân không Nội dung 6: Nghiên cứu qui trình chế tạo lớp phủ nhiều lớp TiC/Ti(C,N)/TiN bằng công nghệ phún xạ cao tần Nội dung 7: Xác định thành phần hoá học của lớp phủ 2 Lần 2 Nội dung 8: Xác định vi cấu trúc, thành phần pha của lớp phủ. .. phún xạ cao tần Thiết kế và chế tạo hệ phối khí 4.3 công tác cho Z550 Thiết kế và chế tạo hệ gá, quay 4.4 mẫu cho Z550 Nghiên cứu công nghệ làm 4.5 sạch mẫu bằng plasma cao tần Thiết kế, chế tạo hệ điều khiển 4.6 nhiệt độ đế cho Z550 Nội dung 3: Chuẩn bị điều kiện công nghệ tạo lớp phủ bằng 5 phương pháp hồ quang chân 03-08/2008 không trên thiết bị TINA900 Nghiên cứu phương pháp tạo 5.1 lớp phủ bằng... Sơn Nguyễn Thị Phương Mai Xác định và phân tích độ nhám bề mặt lớp phủ bằng phương pháp AFM Xác định và phân tích hình thái bề mặt lớp phủ bằng phương pháp AFM Xác định hình thái bề mặt lớp phủ bằng phương pháp hiển vi điện tử quét ESEM Xác định hình thái bề mặt cắt lớp phủ - đế bằng phương pháp hiển vi điện tử quét ESEM Đo đạc và xác định độ cứng tế 12.1 vi của lớp phủ 06-12/2008 06-12/2008 tk13 06-12/2008... thái bề mặt lớp phủ Nội dung 10: Đánh giá cơ tính của lớp phủ: độ cứng, độ bám dính, hệ số ma sát, chiều dầy 3 Lần 3 Kết luận: Các sản phẩm của Đề tài đang hoạt động tốt Tính ổn định của sản phẩm sẽ tiếp tục được đánh giá và thông báo trong các báo cáo định kỳ tiếp theo Người chủ trì: GS.TS Võ Thạch Sơn Nội dung 11 :Nghiên cứu công nghệ tạo lớp phủ TiN trên mũi khoan Nội dung 12: Nghiên cứu công nghệ tạo. .. 99 Chương 3 Nghiên cứu công nghệ lắng đọng lớp phủ cứng TiN và TiC bằng phương pháp phún xạ âm cực RF 3.1 Nghiên cứu lắng đọng lớp phủ cứng TiN bằng phương pháp công nghệ phún xạ âm cực RF 102 3.1.1 Đặc điểm của lớp phủ cứng TiN lắng đọng bằng phún xạ RF 102 3.1.2 Nghiên cứu xác định các thông số công nghệ 103 3.1.2.1 Xác định hợp phần N2 trong thành phần lớp phủ TiNx 103 3.1.2.2... nghiệm tạo 01- 06/2009 01- 06/2009 lớp phủ TiN trên khuôn ép nhựa Võ Thạch Sơn Phạm Hồng Tuấn Đo đạc và xác định độ bám 12.2 dính của lớp phủ Đo đạc và xác định hệ số ma 12.3 sát của lớp phủ Đo đạc và xác định chiều dày 13 14 15 15.1 Nghiên cứu công nghệ tạo lớp phủ TiN trên khuôn ép nhựa cấu 01- 06/2009 hình đơn giản bằng phương pháp DC magnetron 01- 06/2009 Võ Thạch Sơn Phạm Hồng Tuấn 15.2 Nghiên cứu công. .. có) Thiết bị công nghệ để tạo lớp phủ bằng phương pháp phún xạ cao tần(cải tạo từ thiết bị Z550 sẵn có) Thiết bị công nghệ để tạo lớp phủ bằng phương pháp hồ quang chân không (cải tạo từ thiết bị TINA900 sẵn có) Theo kế Thực tế hoạch đạt được - Lý do thay đổi (nếu có): b) Sản phẩm Dạng II: TT 1 2 3 Tên sản phẩm Mẫu mũi khoan, doa phủ TiN Đường kính mũi khoan Chiều dày lớp phủ Độ cứng lớp phủ Tuổi thọ... độ lắng đọng lớp phủ 78 2.3.5 Khảo sát độ cứng của lớp phủ 80 2.4 Nghiên cứu công nghệ lắng đọng lớp phủ TiCN bằng phương pháp hồ quang chân không 81 2.4.1 Lớp phủ cứng TiCN 81 2.4.1.1 Cấu trúc của lớp phủ cứng TiCN .81 2.4.1.2 Hình thái bề mặt của TiCN 82 2.4.1.3 Thành phần hóa học 83 2.4.1.4 Một số tính chất cơ, lý hóa của màng cứng TiCN 84 . CHUNG 1. Tên đề tài/dự án: Nghiên cứu ứng dụng công nghệ phủ PVD (Physical Vapor Deposition) tạo lớp phủ bề mặt để nâng cao cơ tính khuôn mẫu và dụng cụ cắt gọt Mã số đề tài: kc.05.12/06-10. suất. Nghiên cứu ảnh hưởng của các đặc tính cơ lý hoá học của lớp phủ đến độ bền mòn của dụng cụ và khuôn mẫu. Khảo sát cơ tính và độ bền của các lớp phủ trên các dụng cụ cắt và khuôn mẫu. ứng dụng công nghệ- Bộ Khoa học và công nghệ Trung tâm quang điện tử- Viện ứng dụng công nghệ- Bộ Khoa học và công nghệ Thiết kế xây dựng thiết bị tạo lớp phủ cứng bằng công nghệ