... (Chemical Vapor Deposition –CVD) và nuôi màng epitaxy (Epitaxial Growth)Quang khc (Lithography)Tm thc hóa hc và bng plasma (Chemical & Plasma Etching)Kim tra và th nghim (Testing & ... phin Sin Sï̈RRa trong na trong nc ô xy gic ô xy giààvvààHH22 SO SO22nhinhit đt đ120 120 ––150 150 ººC trong C trong 10 ph10 phúút. ... palm pilots, laptops, Silicon (Si) MOSFETs, ICs, CMOS và mi th “thông minh”̈ Cell phones, pagers Si ICs, GaAs FETs, BJTs̈ CD players AlGaAs và InGaP laser diodes, Si photodiodes̈ iu khin...