... Ổn định quy trình chế tạo màng áp điện PZT với chất lượng cao phương pháp quay phủ sol-gel o Tích hợp màng PZT vào rung silic nhằm chế tạo linh kiện cảm biến với kích thước micro-mét o Định hướng ... thuộc nhiều vào định hướng tinh thể màng PZT sau chế tạo [227] Hình 1.19 cho th y định hướng t lệ thành phần y u tố định đến tính chất áp 25 điện sắt điện màng PZT bề d y 200 – 300 nm, nghiên cứu ... phần màng lên tính chất sắt điện áp điện, nhằm mục đích cải thiện chất lượng màng; (3) Thiết kế, chế tạo khảo sát tính chất linh kiện cảm biến khối lượng sở , t y thuộc vào y u cầu ứng dụng khác...