... Với phương pháp phún xạ magnetron, tác giả [8] cho rằng, nồng độ pha tạp N phương pháp nhỏ, cỡ 1,4at% pha tạp chủ yếu qui định phản ứng ion N+2 lượng thấp, thành lập plasma phún xạ Phản ứng N+2 ... 6.Ảnh hưởng công suất phún xạ Trang 59 Science & Technology Development, Vol 11, No.06 - 2008 3.KẾT LUẬN Bằng phương pháp phún xạ phản ứng D.C magnetron không cân pha tạp F nitơ 22,15 at% tỷ lệ ... tức dùng hệ magnetron không cân (không cần đốt nóng đế) để tạo màng TiO2- xNx có cấu trúc tinh thể anatase FN > 0, 75 Từ đưa chế pha tạp N màng tinh thể anatase TiO2 để thành lập màng TiO2- xNx 2.THỰC...