... V.N.Hung and N.D.Chien, Communications in Physics, ISSN 0868-3166, Vol.11, N. 3, September 2001, pp. 169-174. Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trng Của cảm biến vi cơ đo lực Vũ ... điện áp nuôi đều đợc đặt vào các cực 1 và 3, điện áp ra đợc lấy trên các cực 2 và 4. Hoạt động của cảm biến vi cơ silic đo lực dựa trên hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn. Khi màng ... Đào tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS) Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý, Trờng ĐHSP Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thớc nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đà đợc thiết kế và chế tạo...