... của màng AZO, nguyên lí, cấu trúc của pin mặt trời, vật liệu Si và pha t p Si . Từ đó, so sánh và đưa ra phương ph p chế tạo thích h p (chế tạo màng AZO bằng phương ph p Sol-gel, tạo l p n+ ... trong suốt, có cấu trúc x p và độ dẫn bề mặt cao) Về thực nghiệm, tìm các điều kiện chế tạo màng AZO với phương ph p Sol-gel, tạo l p n+ Si và p +Si bằng phương ph p khuếch tán nhiệt. Khảo ... nhưng phải lựa chọn thông số độ dày màng phù h p. Việc chọn thông số độ dày màng AZO mang tính chất quyết định khi muốn làm tăng hiệu suất pin bằng phương ph p dùng màng AZO làm l p chống phản xạ...