... )+Φ−+Φ+++Φ−+Φ=Θ+Φ+++Φ−+Φ=Θ+Φ−+Φ=Θ+Φ=Θ∑∑∑∑∑∑∑∑∑∑. 15 15 61 ,3 31 , 11 , 1 11 72263354444 11 52243333 11 32222 11 kjijkjijjkjijkjijjkjijkjijjkjijkjijjikjijkjijjkjijkjijjkjijkjijjikjijkjijjkjijkjijjikjijkjijjiaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaaWaaϕϕϕϕ ... khuếch tán bên trong của tinh thể bán dẫn với nồng độ tạp chất rất nhỏ, cỡ 10 -3 ÷ 10 -4 % so với nồng độ nguyên tử gốc (tức là nhỏ hơn 10 18 nguyên tử tạp/cm3) . Vì vậy, các tính chất cấu trúc ... ĐẦU 1. Lý do chọn đề tàiKhuếch tán là một hiện tượng rất cơ bản trong tự nhiên và nó xảy ra trong tất cả các môi trường vật chất [1] : Trong môi trường chất khí, chất lỏng, chất rắn, trong động...