... (microelectromecanical systems), trong các thiết bị điện tử nói chung cũng như thiết bị y tế đang được nhiều nhà khoa học quan tâm. Báo cáo này giới thiệu một ứng dụng của vi cảm biến áp suất trong việc đo huyết ... thống trên là những đóng góp đầu tiên của chúng tôi trong việc ứng dụng cảm biến MEMS vào các thiết bị điện tử nói chung cũng như trong điện tử y tế. Việc nghiên cứu hoàn thiện công nghệ chế ... bằng, điện thế lối ra lúc này là bằng 0. Khi có áp suất đặt lên, màng mỏng sẽ bị biến dạng, áp lực phân bố trên màng sẽ bị thay đổi. Do hiệu ứng áp điện trở, các giá trị của các điện trở trong...