... để tạo cửa sổ điện trở, khuếch tán để tạo các điện trở, quang khắc mask 3 để mở của sổ các tiếp xúc cho điện trở, bốc bay Al đế tạo các tiếp xúc, quang khắc mask 4 để tạo các điện cực, và cuối ... lại, vì vậy cấu trúc màng có tâm cứng đợc tạo ra. Sau bớc xử lý ăn mòn, cấu trúc cơ của cảm biến đã hoàn thành. Các bớc tiếp theo nhằm chế tạo cấu trúc điện trên cảm biến, bao gồm: quang khắc ... technology). Do tính đặc thù cũng nh khả năng đặc biệt của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công...