... nghệ chế tạo, ảnh hưởng của các thông số công nghệ chế tạo đến các thông số đặc trưng của transistor hiệu ứng trường sử dụng ống nano carbon, mục tiêu của luận văn Thạc sỹ này l : Thi t kế, chế ... 25 Chương 3 CHẾ TẠO CNTFET 3.1. Cấu trúc CNTFET chế tạo CNTFET được chế tạo theo dạng cổng sau (back-gated CNTFET). Hình 3. 1: Cấu trúc Back-Gated CNTFET thực nghiệm chế tạo 3.2. Chuẩn ... trọng theo tứ tự của các bước trong công nghệ quang khắc. Các bước chính bao gồm: - Chuẩn bị dụng cụ, thi t bị, hoá chất, cảm quang, tủ sấy, đế bán dẫn và các dụng cụ thi t bị cần thi t. - Xử...