Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian pptx

... ra một sản phẩm chất lượng cho ngành công nghiệp vũ trụ. Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để ... phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác, ổn định lâu dài và khử độ rung. Hình 2: Sai số áp suất áp dụng cho áp suất và ... ra cảm biến từ hai áp suất giống nhau và nhiệt độ cảm biến được đặt cùng một vị trí trong dầu. Việc so sánh đầu ra cảm biến đã được thực hiện khoảng 3 năm sau trong điều kiện lắp đặt áp suất...

Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx

... Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không ... hoá phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác, ổn định lâu dài và khử độ rung.Hình 2: Sai số áp suất áp dụng cho áp suất và nhiệt ... 4Tổng trọng lượng cảm biến trong cảm biến không gian yêu cầu 125gran. Phần mạch ghép được bịt kín, và giao diện điện là do kết nối kín theo yêu cầu ESA. Cảm biến áp suất không gian hoàn thành...

khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS

... biến của cảm biến áp suất là sử dụng trong y tế để đo huyết áp của bệnh nhân. Trong máy đo huyết áp phần tử cảm biến chính là cảm biến áp suất. Cảm biến áp suất sẽ thu thập dữ liệu về áp suất ... nguồn nuôi cho cảm biến (nguồn, đất) − Không cho áp suất tác dụng vào cảm biến − Đo thế lối ra Ura = +Vout - -Vout Cho áp suất tác dụng − Nhận xét về loại cảm biến áp suất (cảm biến loại ... vào độ lớn của áp suất tác dụng vào. Cảm biến áp suất kiểu màng có một số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối (hình 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình...

23
1,192
2

Tài liệu Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế pdf

... ứng của áp suất tác dụng lên màng. Cảm biến áp suất là một trong những loại cảm biến thường dùng nhất trong công nghiệp. Trong y tế thì cảm biến áp suất thường được sử dụng để đo áp suất trong ... khiển. 12. CẢM BIẾN ÁP SUẤT VI CƠ ĐIỆN TỬ 2.1. Cấu hình và nguyên lý hoạt động của cảm biến áp suất Trên cơ sở hiệu ứng áp trở trong vật liệu silicon, nhiều loại vi cảm biến và các bộ ... tử. 2.2. Chế tạo cảm biến áp suất vi cơ điện tử Để chế tạo các cảm biến áp suất ta sử dụng một phiến silic loại n, bề dày 380µm, có định hướng bề mặt là {100}, điện trở suất nằm trong khoảng...

5
1,802
45

Tài liệu khảo sát và ứng dụng cảm biến ap suất MEMS ppt

thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola cung cấp.

... số, tasẽ thử nghiệm một hệ đo cho cảm biến có nhân là bộ khuyếch đại lock-in vừa chế tạo. Cụthể trong bản khóa luận sẽ thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola ... đồ hệ đo thử nghiệm lock-in số sử dụng cảm biến áp suất được trình bày như hình3.28.Hình 3.28. Sơ đồ hệ đo cảm biến MPX2300Hình 3.29. chỉ ra cách mắc cho hệ đoSinh Viên : Lê Trần Triệu Tuấn57Bộ ... 3.30. Hệ đo thực tếKết qủa đo thử của bộ lock-in số dùng cảm biến áp suất MPX2300D để thử nghiệm được trình bày trên bảng 3.2 Áp suất vào Kết quả10mmHg 9,8uV15mmHg 14,6uV20mmHg 21,3uV25mmHg...

Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

... thực tế, để áp ứng các nhu cầu đa dạng thì đòi hỏi các cảm biến áp suất phải áp ứng một cách tốt nhất cho từng trường hợp cụ thể. Chính vì vậy cảm biến áp suất kiểu áp trở, nó áp ứng phần ... loại cảm biến áp suất khác nhau sử dụng công nghệ MEMS. Chương 2: Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất áp điện trở. Trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng cảm ... dụng công nghệ MEMS. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất điện trở trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng cảm biến dùng phần mềm ANSYS và phương pháp phần tử...

4
1,135
7

Sơ lược về cảm biến áp suất

... không. * Áp suất calip: là một dạng của áp suất vi sai, là áp suất ở một khu vực hoặc đường ống so với áp suất khí quyển. Loại này được áp dụng phổ biến nhất.Hai đơn vị đo áp suất phổ biến ... Áp suất vi sai: là áp suất trong một khu vực hoặc một đường ống khi được so với áp suất khác. Giá trị đọc là sự chênh lệch giữa hai áp suất và không tính đến áp suất của hai bên so với áp suất ... dưới cảm biến để truyền áp suất đi mà không cho lưu chất của quá trình thâm nhập vào cảm biến. Khi sử dụng, cảm biến phải được nạp đầy bởi một chất trơ, thường là đầu silicon để truyền áp suất...

6
2,022
34

CẢM BIẾN ÁP SUẤT

... pittong- Áp kế kiểu chất lỏng- Áp kế theo nguyên lý điện- Áp kế liên hợpV.Một số loại cảm biến áp suất 1. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại2. Cảm biến áp suất áp điện thạch anh+ Áp ... dư.-Khí áp kế (baromet): đo áp suất khí khí quyển.-Chân không kế, áp kế hút: đo áp âm- Áp kế hiệu số: đo áp suất hiệu-Để đo áp suất tuyệt đối ta dùng áp kế và khí áp kế khi áp suất tuyệt ... lớn hơn áp suất khí quyển. Hoặc dùng áp kế và chân không kế khi áp suất tuyệt đối nhỏ hơn áp suất khí quyểnCó thể đo áp suất động bằng cách đặt áp suất tổng lên mặt trước và áp suất tĩnh...

36
4,441
24

Xem thêm